Details

Title: Высокочастотный разряд низкого давления в смесях инертных газов и галогенов как активная среда мощных источников ультрафиолетового излучения: специальность 01.04.04 "Физическая электроника": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
Creators: Пелли Александр Витальевич
Scientific adviser: Головицкий Александр Петрович
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Imprint: Санкт-Петербург, 2019
Collection: Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Subjects: Плазма (физ.) — Применение; Газовый разряд высокочастотный; Ультрафиолетовое излучение
UDC: 537.525.6(043.3); 533.9(043.3)
Document type: Author's Abstract
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (OKSVNK): 01.04.04
Speciality group (OKSVNK): 010000 - Физико-математические науки
DOI: 10.18720/SPBPU/2/r19-48
Rights: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать)
Record key: RU\SPSTU\edoc\61689

Allowed Actions: Read

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

В работе исследуются физические процессы в плазме электроотрицательного безэлектродного высокочастотного (ВЧ) разряда в смеси инертных газов и галогенов, рассматриваемого как источник ультрафиолетового (УФ) излучения.Выявлены физические механизмы и процессы, протекающие в плазме электроотрицательного ВЧ разряда и оказывающие определяющее влияние на характеристики излучения УФ излучения. Установлена степень влияния внешних параметров ВЧ разряда на характеристики излучения, найдены их оптимальные значения.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print
-> Internet All Read Print

Usage statistics

stat Access count: 140
Last 30 days: 3
Detailed usage statistics