Electronic Documents Search
Documents found: 7
-
Creators Кретушева Ирина Васильевна Organization Санкт-Петербургский государственный политехнический университет Imprint Санкт-Петербург, 2013 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Наноструктурные материалы; Плазма (физ.) низкотемпературная; Газовый разряд высокочастотный UDC 620.22-022.53(043.3); 537.52:533.915(043.3) Document type Author's Abstract File type PDF Language Russian Speciality code (OKSVNK) 05.27.06 Speciality group (OKSVNK) 050000 - Технические науки Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 0.6 Mb -
Creators Мишин Максим Валерьевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2015 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Наноструктурные материалы; Плазма (физ.) газоразрядная; Газовый разряд высокочастотный UDC 537.523:533.9(043.3) Document type Author's Abstract File type PDF Language Russian Speciality code (OKSVNK) 01.04.04 Speciality group (OKSVNK) 010000 - Физико-математические науки Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 3.0 Mb -
Creators Мишин Максим Валерьевич Other creators Александров С. Е. Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2015 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Наноструктурные материалы; Газовый разряд высокочастотный; Плазма (физ.) газоразрядная UDC 537.523:533.9(043.3) Document type Dissertation File type PDF Language Russian Speciality code (OKSVNK) 01.04.04 Speciality group (OKSVNK) 010000 - Физико-математические науки Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 11.7 Mb -
Creators Моор Светлана Юрьевна Scientific adviser Демидов Александр Иванович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2017 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Плазменная обработка; Газовый разряд высокочастотный; плазмохимическое травление; технологические параметры; плазмохимическая полировка UDC 621.794.6(043.3) Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 22.04.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов DOI 10.18720/SPBPU/2/v17-3425 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 2.9 Mb -
Creators Панкратьев Павел Александрович Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Газовый разряд высокочастотный; Травление металлов; Плазма (физ.); Спектроскопия; Численные методы; высокочастотный емкостной разряд; плазменное травление; оптическая спектроскопия UDC 537.52; 621.794.4:533.932; 535.33 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 03.04.02 Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3845-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3845-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3845-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-3845 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.3 Mb -
Creators Кобелев Антон Андреевич Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Плазма (физ.) газоразрядная; Плазменная обработка; Твердые тела — Поверхностные явления; Газовый разряд высокочастотный; Пленки тонкие — Получение — Применение плазмы UDC 537.525(043.3); 539.231(043.3) Document type Author's Abstract File type PDF Language Russian DOI 10.18720/SPBPU/2/r19-50 Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.5 Mb -
Creators Пелли Александр Витальевич Scientific adviser Головицкий Александр Петрович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Плазма (физ.) — Применение; Газовый разряд высокочастотный; Ультрафиолетовое излучение UDC 537.525.6(043.3); 533.9(043.3) Document type Author's Abstract File type PDF Language Russian Speciality code (OKSVNK) 01.04.04 Speciality group (OKSVNK) 010000 - Физико-математические науки DOI 10.18720/SPBPU/2/r19-48 Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать) pdf, 1.0 Mb