С 17 марта 2020 г. для ресурсов (учебные, научные, материалы конференций, статьи из периодических изданий, авторефераты диссертаций, диссертации) ЭБ СПбПУ, обеспечивающих образовательный процесс, установлен особый режим использования. Обращаем внимание, что ВКР/НД не относятся к этой категории.

Details

Title: Анализ потоков ионов из ВЧ газового разряда, используемого для процессов модификации поверхности твердого тела: специальность 01.04.04 "Физическая электроника": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
Creators: Кобелев Антон Андреевич
Scientific adviser: Смирнов Александр Сергеевич
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Imprint: Санкт-Петербург, 2019
Collection: Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Subjects: Плазма (физ.) газоразрядная; Плазменная обработка; Твердые тела — Поверхностные явления; Газовый разряд высокочастотный; Пленки тонкие — Получение — Применение плазмы
UDC: 537.525(043.3); 539.231(043.3)
Document type: Author's Abstract
File type: PDF
Language: Russian
DOI: 10.18720/SPBPU/2/r19-50
Rights: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions: Read

Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Численное моделирование газоразрядной плазмы широко используется совместно с экспериментальными исследованиями для разработки новых методов обработки поверхности твердого тела в газовом разряде и проектирования соответствующих газоразрядных технологических установок. Работа посвящена численному анализу параметров потока ионов и химически активных нейтральных частиц из ВЧ газовых разрядов, предназначенных для реактивного травления и физического распыления твердого тела, а также анализу уширения функции распределения ионов в электростатическом энергоанализаторе задерживающего потенциала. Рассмотрены ВЧ разряды как в инертных газах He, Ne, Ar, предназначенные для физического распыления, так и в молекулярном газе BCl3, который является перспективным для реализации реактивного ионного травления диэлектриков и полупроводников на основе соединений с кислородом.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users Read Print Download
-> Internet Anonymous Read

Document usage statistics

stat Document access count: 40
Last 30 days: 5
Detailed usage statistics