Детальная информация
| Название | Анализ потоков ионов из ВЧ газового разряда, используемого для процессов модификации поверхности твердого тела: специальность 01.04.04 "Физическая электроника": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук |
|---|---|
| Авторы | Кобелев Антон Андреевич |
| Научный руководитель | Смирнов Александр Сергеевич |
| Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого |
| Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2019 |
| Коллекция | Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция |
| Тематика | Плазма (физ.) газоразрядная ; Плазменная обработка ; Твердые тела — Поверхностные явления ; Газовый разряд высокочастотный ; Пленки тонкие — Получение — Применение плазмы |
| УДК | 537.525(043.3) ; 539.231(043.3) |
| Тип документа | Автореферат |
| Тип файла | |
| Язык | Русский |
| DOI | 10.18720/SPBPU/2/r19-50 |
| Права доступа | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\61699 |
| Дата создания записи | 11.10.2019 |
Численное моделирование газоразрядной плазмы широко используется совместно с экспериментальными исследованиями для разработки новых методов обработки поверхности твердого тела в газовом разряде и проектирования соответствующих газоразрядных технологических установок. Работа посвящена численному анализу параметров потока ионов и химически активных нейтральных частиц из ВЧ газовых разрядов, предназначенных для реактивного травления и физического распыления твердого тела, а также анализу уширения функции распределения ионов в электростатическом энергоанализаторе задерживающего потенциала. Рассмотрены ВЧ разряды как в инертных газах He, Ne, Ar, предназначенные для физического распыления, так и в молекулярном газе BCl3, который является перспективным для реализации реактивного ионного травления диэлектриков и полупроводников на основе соединений с кислородом.
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|---|---|
| Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
| Интернет | Все |
|
Количество обращений: 730
За последние 30 дней: 27
