С 17 марта 2020 г. для ресурсов (учебные, научные, материалы конференций, статьи из периодических изданий, авторефераты диссертаций, диссертации) ЭБ СПбПУ, обеспечивающих образовательный процесс, установлен особый режим использования. Обращаем внимание, что ВКР/НД не относятся к этой категории.

Детальная информация

Название: Анализ потоков ионов из ВЧ газового разряда, используемого для процессов модификации поверхности твердого тела: специальность 01.04.04 "Физическая электроника": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
Авторы: Кобелев Антон Андреевич
Научный руководитель: Смирнов Александр Сергеевич
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2019
Коллекция: Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Тематика: Плазма (физ.) газоразрядная; Плазменная обработка; Твердые тела — Поверхностные явления; Газовый разряд высокочастотный; Пленки тонкие — Получение — Применение плазмы
УДК: 537.525(043.3); 539.231(043.3)
Тип документа: Автореферат
Тип файла: PDF
Язык: Русский
DOI: 10.18720/SPBPU/2/r19-50
Права доступа: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Разрешенные действия: Прочитать

Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Численное моделирование газоразрядной плазмы широко используется совместно с экспериментальными исследованиями для разработки новых методов обработки поверхности твердого тела в газовом разряде и проектирования соответствующих газоразрядных технологических установок. Работа посвящена численному анализу параметров потока ионов и химически активных нейтральных частиц из ВЧ газовых разрядов, предназначенных для реактивного травления и физического распыления твердого тела, а также анализу уширения функции распределения ионов в электростатическом энергоанализаторе задерживающего потенциала. Рассмотрены ВЧ разряды как в инертных газах He, Ne, Ar, предназначенные для физического распыления, так и в молекулярном газе BCl3, который является перспективным для реализации реактивного ионного травления диэлектриков и полупроводников на основе соединений с кислородом.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Анонимные пользователи Прочитать

Статистика использования

stat Количество обращений: 48
За последние 30 дней: 3
Подробная статистика