Детальная информация

Название Анализ потоков ионов из ВЧ газового разряда, используемого для процессов модификации поверхности твердого тела: специальность 01.04.04 "Физическая электроника": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
Авторы Кобелев Антон Андреевич
Научный руководитель Смирнов Александр Сергеевич
Организация Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Выходные сведения Санкт-Петербург, 2019
Коллекция Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция
Тематика Плазма (физ.) газоразрядная ; Плазменная обработка ; Твердые тела — Поверхностные явления ; Газовый разряд высокочастотный ; Пленки тонкие — Получение — Применение плазмы
УДК 537.525(043.3) ; 539.231(043.3)
Тип документа Автореферат
Тип файла PDF
Язык Русский
DOI 10.18720/SPBPU/2/r19-50
Права доступа Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Ключ записи RU\SPSTU\edoc\61699
Дата создания записи 11.10.2019

Разрешенные действия

Прочитать Загрузить (1,5 Мб)

Группа Анонимные пользователи
Сеть Интернет

Численное моделирование газоразрядной плазмы широко используется совместно с экспериментальными исследованиями для разработки новых методов обработки поверхности твердого тела в газовом разряде и проектирования соответствующих газоразрядных технологических установок. Работа посвящена численному анализу параметров потока ионов и химически активных нейтральных частиц из ВЧ газовых разрядов, предназначенных для реактивного травления и физического распыления твердого тела, а также анализу уширения функции распределения ионов в электростатическом энергоанализаторе задерживающего потенциала. Рассмотрены ВЧ разряды как в инертных газах He, Ne, Ar, предназначенные для физического распыления, так и в молекулярном газе BCl3, который является перспективным для реализации реактивного ионного травления диэлектриков и полупроводников на основе соединений с кислородом.

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все
Прочитать Печать Загрузить
Интернет Все

Количество обращений: 609 
За последние 30 дней: 30

Подробная статистика