С 17 марта 2020 г. для образовательных ресурсов Электронной библиотеки СПбПУ установлен особый режим их использования

Details

Title: Плазмохимическое травление кремния в емкостно-связанном ВЧ разряде: магистерская диссертация: 22.04.01
Creators: Моор Светлана Юрьевна
Scientific adviser: Демидов Александр Иванович
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Imprint: Санкт-Петербург, 2017
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: Плазменная обработка; Газовый разряд высокочастотный; плазмохимическое травление; технологические параметры; плазмохимическая полировка
UDC: 621.794.6(043.3)
Document type: Master graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 22.04.01
Speciality group (FGOS): 220000 - Технологии материалов
DOI: 10.18720/SPBPU/2/v17-3425
Rights: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Разработана и собрана установка для плазмохимического травления материалов при пониженном давлении. Было изучено влияние технологических параметров на скорость плазмохимического травления.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users Read Print Download
-> Internet Anonymous

Document usage statistics

stat Document access count: 685
Last 30 days: 9
Detailed usage statistics