Details
| Title | Плазмохимическое травление кремния в емкостно-связанном ВЧ разряде: магистерская диссертация: 22.04.01 |
|---|---|
| Creators | Моор Светлана Юрьевна |
| Scientific adviser | Демидов Александр Иванович |
| Organization | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта |
| Imprint | Санкт-Петербург, 2017 |
| Collection | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
| Subjects | Плазменная обработка ; Газовый разряд высокочастотный ; плазмохимическое травление ; технологические параметры ; плазмохимическая полировка |
| UDC | 621.794.6(043.3) |
| Document type | Master graduation qualification work |
| File type | |
| Language | Russian |
| Level of education | Master |
| Speciality code (FGOS) | 22.04.01 |
| Speciality group (FGOS) | 220000 - Технологии материалов |
| DOI | 10.18720/SPBPU/2/v17-3425 |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\44521 |
| Record create date | 10/13/2017 |
Allowed Actions
–
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
| Group | Anonymous |
|---|---|
| Network | Internet |
Разработана и собрана установка для плазмохимического травления материалов при пониженном давлении. Было изучено влияние технологических параметров на скорость плазмохимического травления.
| Network | User group | Action |
|---|---|---|
| ILC SPbPU Local Network | All |
|
| Internet | Authorized users SPbPU |
|
| Internet | Anonymous |
|
Access count: 713
Last 30 days: 1
