Детальная информация
Название | Плазмохимическое травление кремния в емкостно-связанном ВЧ разряде: магистерская диссертация: 22.04.01 |
---|---|
Авторы | Моор Светлана Юрьевна |
Научный руководитель | Демидов Александр Иванович |
Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта |
Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2017 |
Коллекция | Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция |
Тематика | Плазменная обработка; Газовый разряд высокочастотный; плазмохимическое травление; технологические параметры; плазмохимическая полировка |
УДК | 621.794.6(043.3) |
Тип документа | Выпускная квалификационная работа магистра |
Тип файла | |
Язык | Русский |
Уровень высшего образования | Магистратура |
Код специальности ФГОС | 22.04.01 |
Группа специальностей ФГОС | 220000 - Технологии материалов |
DOI | 10.18720/SPBPU/2/v17-3425 |
Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\44521 |
Дата создания записи | 13.10.2017 |
Разрешенные действия
–
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Группа | Анонимные пользователи |
---|---|
Сеть | Интернет |
Разработана и собрана установка для плазмохимического травления материалов при пониженном давлении. Было изучено влияние технологических параметров на скорость плазмохимического травления.
Место доступа | Группа пользователей | Действие |
---|---|---|
Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ |
|
Интернет | Анонимные пользователи |
|
Количество обращений: 712
За последние 30 дней: 0