Детальная информация
| Название | Плазмохимическое травление кремния в емкостно-связанном ВЧ разряде: магистерская диссертация: 22.04.01 |
|---|---|
| Авторы | Моор Светлана Юрьевна |
| Научный руководитель | Демидов Александр Иванович |
| Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта |
| Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2017 |
| Коллекция | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
| Тематика | Плазменная обработка ; Газовый разряд высокочастотный ; плазмохимическое травление ; технологические параметры ; плазмохимическая полировка |
| УДК | 621.794.6(043.3) |
| Тип документа | Выпускная квалификационная работа магистра |
| Язык | Русский |
| Уровень высшего образования | Магистратура |
| Код специальности ФГОС | 22.04.01 |
| Группа специальностей ФГОС | 220000 - Технологии материалов |
| DOI | 10.18720/SPBPU/2/v17-3425 |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\44521 |
| Дата создания записи | 13.10.2017 |
Разрешенные действия
–
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
| Группа | Анонимные пользователи |
|---|---|
| Сеть | Интернет |
Разработана и собрана установка для плазмохимического травления материалов при пониженном давлении. Было изучено влияние технологических параметров на скорость плазмохимического травления.
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|---|---|
| Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
| Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ |
|
| Интернет | Анонимные пользователи |
|
Количество обращений: 713
За последние 30 дней: 0
