Детальная информация
| Название | Оптимальный параметрический синтез микроэлектромехнического датчика давления с реконфигуриуемой интерфейсной частью: специальность 2.2.13. Радиотехника, в том числе системы и устройства телевидения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук |
|---|---|
| Авторы | Тулаев Артём Толибович |
| Научный руководитель | Лобода Вера Владимировна |
| Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого |
| Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2025 |
| Коллекция | Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция |
| Тематика | Датчики давления ; Микроэлектроника ; интегральная схема ; микроэлектромеханические системы ; системная модель ; системный уровень ; кремний на изоляторе |
| УДК | 681.586'326 ; 621.38.049.77 |
| Тип документа | Автореферат |
| Язык | Русский |
| Код специальности ОКСВНК | 2.2.13. |
| Группа специальностей ОКСВНК | 2.0000 |
| DOI | 10.18720/SPBPU/2/r25-104 |
| Права доступа | Свободный доступ из сети Интернет (чтение) |
| Дополнительно | Новинка |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\77682 |
| Дата создания записи | 10.12.2025 |
| Группа | Анонимные пользователи |
|---|---|
| Сеть | Интернет |
Диссертационная работа посвящена вопросам оптимального параметрического синтеза микроэлектромеханического датчика давления с реконфигурируемой интерфейсной частью. В рамках работы решены задачи разработки методики параметрического синтеза микроэлектромеханического датчика давления c реконфигурируемой интерфейсной частью в интегральном исполнении, проведен синтез и оптимизация параметров микроэлектромеханического датчика давления, отличающегося от известных реконфигурируемой интерфейсной частью на уровне системной модели. Решена задача оптимального параметрического синтеза на уровне моделей конструкций чувствительных элементов и реконфигурируемой интерфейсной части, с поэтапной оценкой области оптимальных параметров с учетом погрешностей изготовления, паразитных параметров и конструктивно-технологических ограничений. Проведены экспериментальные исследования микроэлектромеханического датчика давления с реконфигурируемой интерфейсной частью, подтвердившие основные теоретические выводы.
Количество обращений: 21
За последние 30 дней: 21