Details

Title Оптимальный параметрический синтез микроэлектромехнического датчика давления с реконфигуриуемой интерфейсной частью: специальность 2.2.13. Радиотехника, в том числе системы и устройства телевидения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
Creators Тулаев Артём Толибович
Scientific adviser Лобода Вера Владимировна
Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Imprint Санкт-Петербург, 2025
Collection Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция
Subjects Датчики давления ; Микроэлектроника ; интегральная схема ; микроэлектромеханические системы ; системная модель ; системный уровень ; кремний на изоляторе
UDC 681.586'326 ; 621.38.049.77
Document type Author's Abstract
Language Russian
Speciality code (OKSVNK) 2.2.13.
Speciality group (OKSVNK) 2.0000
DOI 10.18720/SPBPU/2/r25-104
Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение)
Additionally New arrival
Record key RU\SPSTU\edoc\77682
Record create date 12/10/2025

Allowed Actions

Read

Group Anonymous
Network Internet

Диссертационная работа посвящена вопросам оптимального параметрического синтеза микроэлектромеханического датчика давления с реконфигурируемой интерфейсной частью. В рамках работы решены задачи разработки методики параметрического синтеза микроэлектромеханического датчика давления c реконфигурируемой интерфейсной частью в интегральном исполнении, проведен синтез и оптимизация параметров микроэлектромеханического датчика давления, отличающегося от известных реконфигурируемой интерфейсной частью на уровне системной модели. Решена задача оптимального параметрического синтеза на уровне моделей конструкций чувствительных элементов и реконфигурируемой интерфейсной части, с поэтапной оценкой области оптимальных параметров с учетом погрешностей изготовления, паразитных параметров и конструктивно-технологических ограничений. Проведены экспериментальные исследования микроэлектромеханического датчика давления с реконфигурируемой интерфейсной частью, подтвердившие основные теоретические выводы.

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All
Read
Internet All

Access count: 21 
Last 30 days: 21

Detailed usage statistics