Details
| Title | Оптимальный параметрический синтез микроэлектромехнического датчика давления с реконфигуриуемой интерфейсной частью: специальность 2.2.13. Радиотехника, в том числе системы и устройства телевидения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук |
|---|---|
| Creators | Тулаев Артём Толибович |
| Scientific adviser | Лобода Вера Владимировна |
| Organization | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого |
| Imprint | Санкт-Петербург, 2025 |
| Collection | Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция |
| Subjects | Датчики давления ; Микроэлектроника ; интегральная схема ; микроэлектромеханические системы ; системная модель ; системный уровень ; кремний на изоляторе |
| UDC | 681.586'326 ; 621.38.049.77 |
| Document type | Author's Abstract |
| Language | Russian |
| Speciality code (OKSVNK) | 2.2.13. |
| Speciality group (OKSVNK) | 2.0000 |
| DOI | 10.18720/SPBPU/2/r25-104 |
| Rights | Свободный доступ из сети Интернет (чтение) |
| Additionally | New arrival |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\77682 |
| Record create date | 12/10/2025 |
| Group | Anonymous |
|---|---|
| Network | Internet |
Диссертационная работа посвящена вопросам оптимального параметрического синтеза микроэлектромеханического датчика давления с реконфигурируемой интерфейсной частью. В рамках работы решены задачи разработки методики параметрического синтеза микроэлектромеханического датчика давления c реконфигурируемой интерфейсной частью в интегральном исполнении, проведен синтез и оптимизация параметров микроэлектромеханического датчика давления, отличающегося от известных реконфигурируемой интерфейсной частью на уровне системной модели. Решена задача оптимального параметрического синтеза на уровне моделей конструкций чувствительных элементов и реконфигурируемой интерфейсной части, с поэтапной оценкой области оптимальных параметров с учетом погрешностей изготовления, паразитных параметров и конструктивно-технологических ограничений. Проведены экспериментальные исследования микроэлектромеханического датчика давления с реконфигурируемой интерфейсной частью, подтвердившие основные теоретические выводы.
Access count: 21
Last 30 days: 21