Впервые в рамки учебного пособия вводится комплекс вопросов, связанных с использованием сканирующих электронных пучков для научных исследований и технологических целей. Обращено внимание на особенности электронно-оптических систем сканирующих электронно-зондовых устройств, освещены физические явления, лежащие в основе метода, кратко рассмотрены регистрирующие элементы и способы обработки информации. Проведено сопоставление информативности отдельных методик сканирующего электронного зонда (растровой оже-спектроскопии, рентгеновского микроанализа, режима катодолюминесценции и т. д.). Цель пособия — ввести в курс тонких, точных и перспективных методик исследования процессов на поверхности и в объеме твердого тела, дать возможность своевременно ориентироваться как в областях применения этих методик для использования их с наибольшей эффективностью, так и в постоянно расширяющемся потоке оригинальных публикаций и монографий на эту тему. Пособие охватывает вопросы, не нашедшие пока должного отражения в традиционных курсах физики электронных и ионных процессов, электронной оптики и технологии производства радиоэлектронной аппаратуры. Оно предназначено в первую очередь для студентов старших курсов специальностей 0641, 0604, 1742 и может быть полезно студентам, аспирантам, инженерам близких по профилю специальностей.

• ОГЛАВЛЕНИЕ
• Введение
• Гл а в а 1. Особенности электронно-оптических систем сканирующих электронно-зондовых устройств
• Г л а в а 2. Краткие сведения о физических явлениях при взаимодействии электронов с твердым телом
• Г л а в а 3. Обработка и вывод информации из СЭЗУ
• Г л а в а 4. Информативность сканирующих электронпо-зопдовых устройств
• Заключение
• Список литературы