Details

Title: Сканирующие электронные пучки в исследовании твердого тела: учебное пособие
Creators: Кораблев Вадим Васильевич; Чепарухин Владимир Викторович
Organization: Ленинградский политехнический институт им. М. И. Калинина
Imprint: Ленинград: ЛПИ имени М. И. Калинина, 1978
Electronic publication: Санкт-Петербург, 2021
Collection: Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция
Subjects: Электронно-лучевые приборы; Твердые тела — Поверхностные явления
UDC: 537.533(075.8); 539.21(075.8)
Document type: Tutorial
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 03.00.00
Speciality group (FGOS): 030000 - Физика и астрономия
DOI: 10.18720/SPBPU/2/si21-147
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key: RU\SPSTU\edoc\65098

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Впервые в рамки учебного пособия вводится комплекс вопросов, связанных с использованием сканирующих электронных пучков для научных исследований и технологических целей. Обращено внимание на особенности электронно-оптических систем сканирующих электронно-зондовых устройств, освещены физические явления, лежащие в основе метода, кратко рассмотрены регистрирующие элементы и способы обработки информации. Проведено сопоставление информативности отдельных методик сканирующего электронного зонда (растровой оже-спектроскопии, рентгеновского микроанализа, режима катодолюминесценции и т. д.). Цель пособия — ввести в курс тонких, точных и перспективных методик исследования процессов на поверхности и в объеме твердого тела, дать возможность своевременно ориентироваться как в областях применения этих методик для использования их с наибольшей эффективностью, так и в постоянно расширяющемся потоке оригинальных публикаций и монографий на эту тему. Пособие охватывает вопросы, не нашедшие пока должного отражения в традиционных курсах физики электронных и ионных процессов, электронной оптики и технологии производства радиоэлектронной аппаратуры. Оно предназначено в первую очередь для студентов старших курсов специальностей 0641, 0604, 1742 и может быть полезно студентам, аспирантам, инженерам близких по профилю специальностей.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
External organizations N2 All Read
External organizations N1 All Read
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
Internet Authorized users (not from SPbPU) Read
-> Internet Anonymous

Table of Contents

  • ОГЛАВЛЕНИЕ
  • Введение
  • Гл а в а 1. Особенности электронно-оптических систем сканирующих электронно-зондовых устройств
  • Г л а в а 2. Краткие сведения о физических явлениях при взаимодействии электронов с твердым телом
  • Г л а в а 3. Обработка и вывод информации из СЭЗУ
  • Г л а в а 4. Информативность сканирующих электронпо-зопдовых устройств
  • Заключение
  • Список литературы

Usage statistics

stat Access count: 3
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics