Details
Title | Сканирующие электронные пучки в исследовании твердого тела: учебное пособие |
---|---|
Creators | Кораблев Вадим Васильевич ; Чепарухин Владимир Викторович |
Organization | Ленинградский политехнический институт им. М. И. Калинина |
Imprint | Ленинград: ЛПИ имени М. И. Калинина, 1978 |
Electronic publication | Санкт-Петербург, 2021 |
Collection | Учебная и учебно-методическая литература ; Общая коллекция |
Subjects | Электронно-лучевые приборы ; Твердые тела — Поверхностные явления |
UDC | 537.533(075.8) ; 539.21(075.8) |
Document type | Tutorial |
File type | |
Language | Russian |
Speciality code (FGOS) | 03.00.00 |
Speciality group (FGOS) | 030000 - Физика и астрономия |
DOI | 10.18720/SPBPU/2/si21-147 |
Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Record key | RU\SPSTU\edoc\65098 |
Record create date | 1/19/2021 |
Allowed Actions
–
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
Group | Anonymous |
---|---|
Network | Internet |
Впервые в рамки учебного пособия вводится комплекс вопросов, связанных с использованием сканирующих электронных пучков для научных исследований и технологических целей. Обращено внимание на особенности электронно-оптических систем сканирующих электронно-зондовых устройств, освещены физические явления, лежащие в основе метода, кратко рассмотрены регистрирующие элементы и способы обработки информации. Проведено сопоставление информативности отдельных методик сканирующего электронного зонда (растровой оже-спектроскопии, рентгеновского микроанализа, режима катодолюминесценции и т. д.). Цель пособия — ввести в курс тонких, точных и перспективных методик исследования процессов на поверхности и в объеме твердого тела, дать возможность своевременно ориентироваться как в областях применения этих методик для использования их с наибольшей эффективностью, так и в постоянно расширяющемся потоке оригинальных публикаций и монографий на эту тему. Пособие охватывает вопросы, не нашедшие пока должного отражения в традиционных курсах физики электронных и ионных процессов, электронной оптики и технологии производства радиоэлектронной аппаратуры. Оно предназначено в первую очередь для студентов старших курсов специальностей 0641, 0604, 1742 и может быть полезно студентам, аспирантам, инженерам близких по профилю специальностей.
Network | User group | Action |
---|---|---|
ILC SPbPU Local Network | All |
|
Internet | Authorized users SPbPU |
|
Internet | Anonymous |
|
- ОГЛАВЛЕНИЕ
- Введение
- Гл а в а 1. Особенности электронно-оптических систем сканирующих электронно-зондовых устройств
- Г л а в а 2. Краткие сведения о физических явлениях при взаимодействии электронов с твердым телом
- Г л а в а 3. Обработка и вывод информации из СЭЗУ
- Г л а в а 4. Информативность сканирующих электронпо-зопдовых устройств
- Заключение
- Список литературы
Access count: 4
Last 30 days: 0