Details

Title Сканирующие электронные пучки в исследовании твердого тела: учебное пособие
Creators Кораблев Вадим Васильевич ; Чепарухин Владимир Викторович
Organization Ленинградский политехнический институт им. М. И. Калинина
Imprint Ленинград: ЛПИ имени М. И. Калинина, 1978
Electronic publication Санкт-Петербург, 2021
Collection Учебная и учебно-методическая литература ; Общая коллекция
Subjects Электронно-лучевые приборы ; Твердые тела — Поверхностные явления
UDC 537.533(075.8) ; 539.21(075.8)
Document type Tutorial
File type PDF
Language Russian
Speciality code (FGOS) 03.00.00
Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия
DOI 10.18720/SPBPU/2/si21-147
Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key RU\SPSTU\edoc\65098
Record create date 1/19/2021

Allowed Actions

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network

Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group Anonymous
Network Internet

Впервые в рамки учебного пособия вводится комплекс вопросов, связанных с использованием сканирующих электронных пучков для научных исследований и технологических целей. Обращено внимание на особенности электронно-оптических систем сканирующих электронно-зондовых устройств, освещены физические явления, лежащие в основе метода, кратко рассмотрены регистрирующие элементы и способы обработки информации. Проведено сопоставление информативности отдельных методик сканирующего электронного зонда (растровой оже-спектроскопии, рентгеновского микроанализа, режима катодолюминесценции и т. д.). Цель пособия — ввести в курс тонких, точных и перспективных методик исследования процессов на поверхности и в объеме твердого тела, дать возможность своевременно ориентироваться как в областях применения этих методик для использования их с наибольшей эффективностью, так и в постоянно расширяющемся потоке оригинальных публикаций и монографий на эту тему. Пособие охватывает вопросы, не нашедшие пока должного отражения в традиционных курсах физики электронных и ионных процессов, электронной оптики и технологии производства радиоэлектронной аппаратуры. Оно предназначено в первую очередь для студентов старших курсов специальностей 0641, 0604, 1742 и может быть полезно студентам, аспирантам, инженерам близких по профилю специальностей.

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All
Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU
Read Print Download
Internet Anonymous
  • ОГЛАВЛЕНИЕ
  • Введение
  • Гл а в а 1. Особенности электронно-оптических систем сканирующих электронно-зондовых устройств
  • Г л а в а 2. Краткие сведения о физических явлениях при взаимодействии электронов с твердым телом
  • Г л а в а 3. Обработка и вывод информации из СЭЗУ
  • Г л а в а 4. Информативность сканирующих электронпо-зопдовых устройств
  • Заключение
  • Список литературы

Access count: 4 
Last 30 days: 0

Detailed usage statistics