Details

Title: Формирование тонких пленок: учебное пособие
Creators: Кирсанова Татьяна Сергеевна
Organization: Ленинградский политехнический институт им. М. И. Калинина
Imprint: Ленинград: ЛПИ, 1983
Electronic publication: Санкт-Петербург, 2021
Collection: Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция
Subjects: Пленки тонкие
UDC: 539.216.2(075.8)
Document type: Tutorial
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 03.00.00
Speciality group (FGOS): 030000 - Физика и астрономия
DOI: 10.18720/SPBPU/2/si21-491
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key: RU\SPSTU\edoc\65539

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Рассматриваются вопросы, связанные с физическими явлениями, сопровождающими начальные стадии формирования тонких пленок, в той последовательности, которая наблюдается при их образовании.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
-> Internet Anonymous

Table of Contents

  • Содержание
  • Введение
  • Глава 1. Хемосорбция
  • Глава 2. Начальные стадии формирования пленок
  • Глава 3. Общие сведения об эпитаксии
  • Литература

Usage statistics

stat Access count: 3
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics