Details
Title | Формирование тонких пленок: учебное пособие |
---|---|
Creators | Кирсанова Татьяна Сергеевна |
Organization | Ленинградский политехнический институт им. М. И. Калинина |
Imprint | Ленинград: ЛПИ, 1983 |
Electronic publication | Санкт-Петербург, 2021 |
Collection | Учебная и учебно-методическая литература ; Общая коллекция |
Subjects | Пленки тонкие |
UDC | 539.216.2(075.8) |
Document type | Tutorial |
File type | |
Language | Russian |
Speciality code (FGOS) | 03.00.00 |
Speciality group (FGOS) | 030000 - Физика и астрономия |
DOI | 10.18720/SPBPU/2/si21-491 |
Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Record key | RU\SPSTU\edoc\65539 |
Record create date | 2/17/2021 |
Allowed Actions
–
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
Group | Anonymous |
---|---|
Network | Internet |
Рассматриваются вопросы, связанные с физическими явлениями, сопровождающими начальные стадии формирования тонких пленок, в той последовательности, которая наблюдается при их образовании.
Network | User group | Action |
---|---|---|
ILC SPbPU Local Network | All |
|
Internet | Authorized users SPbPU |
|
Internet | Anonymous |
|
- Содержание
- Введение
- Глава 1. Хемосорбция
- Глава 2. Начальные стадии формирования пленок
- Глава 3. Общие сведения об эпитаксии
- Литература
Access count: 3
Last 30 days: 0