Детальная информация

Название: Разработка конструкции и технологии изготовления вибрационного микромеханического гироскопа повышенной точности: бакалаврская работа: 22.03.01
Авторы: Чумак Максим Александрович
Научный руководитель: Акульшин Юрий Дмитриевич
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2016
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: разработка конструкции; вибрационный микрогироскоп; чувствительный элемент; сенсор; навигационный класс точности
Тип документа: Выпускная квалификационная работа бакалавра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Код специальности ФГОС: 22.03.01
Группа специальностей ФГОС: 220000 - Технологии материалов
DOI: 10.18720/SPBPU/2/v16-3025
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Разрешенные действия:

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Предмет исследования - микромеханические инерциальные приборы. Объект исследования - конструкции и технологии создания чувствительных элементов микромеханических гироскопов. Цель работы - разработка конструкции и технологии создания чувствительных элементов датчиков угловых скоростей вибрационного типа навигационного класса точности. Для достижения поставленной цели в работе решены следующие основные задачи: 1. Проведен анализ литературных источников, в которых были рассмотрены принципы функционирования микромеханических гироскопов различных видов, оказавший помощь при выборе оптимальной конструкции чувствительного элемента датчика угловых скоростей. 2. Проведен анализ факторов влияющих на точность измерения микрогироскопов, к которым относятся технологические погрешности, паразитные явления и внешние механические воздействия. 3. На основе проведенных расчетов и компьютерного моделирования разработана уточненная конструкция чувствительного элемента датчика угловых скоростей, учитывающая влияние внешних воздействий и внутренних перекрестных связей на параметры чувствительного элемента, удовлетворяющая требованиям. 4. Рассмотрены особенности процесса реактивного ионно-плазменного травления кремниевой подложки и технологии анодной сварки кремния со стеклом для дальнейшего подбора оптимальных параметров проведения этих процессов. 5. Разработан оптимальный технологический маршрут изготовления микрогироскопа, обеспечивающий его высокие точностные характеристики и экономичность производственного процесса. 6. Проведен анализ полученных результатов работы. Метод исследования основан на разработанной методике математического моделирования, позволяющей разделить многосвязную задачу исследования чувствительного элемента датчика угловых скоростей на ряд упрощённых задач. Систематизация и анализ взаимодействия этих исследований позволит изучить влияние отдельных факторов на поведение системы в целом.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Анонимные пользователи

Статистика использования

stat Количество обращений: 198
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика