Предмет исследования - микромеханические инерциальные приборы. Объект исследования - конструкции и технологии создания чувствительных элементов микромеханических гироскопов. Цель работы - разработка конструкции и технологии создания чувствительных элементов датчиков угловых скоростей вибрационного типа навигационного класса точности. Для достижения поставленной цели в работе решены следующие основные задачи: 1. Проведен анализ литературных источников, в которых были рассмотрены принципы функционирования микромеханических гироскопов различных видов, оказавший помощь при выборе оптимальной конструкции чувствительного элемента датчика угловых скоростей. 2. Проведен анализ факторов влияющих на точность измерения микрогироскопов, к которым относятся технологические погрешности, паразитные явления и внешние механические воздействия. 3. На основе проведенных расчетов и компьютерного моделирования разработана уточненная конструкция чувствительного элемента датчика угловых скоростей, учитывающая влияние внешних воздействий и внутренних перекрестных связей на параметры чувствительного элемента, удовлетворяющая требованиям. 4. Рассмотрены особенности процесса реактивного ионно-плазменного травления кремниевой подложки и технологии анодной сварки кремния со стеклом для дальнейшего подбора оптимальных параметров проведения этих процессов. 5. Разработан оптимальный технологический маршрут изготовления микрогироскопа, обеспечивающий его высокие точностные характеристики и экономичность производственного процесса. 6. Проведен анализ полученных результатов работы. Метод исследования основан на разработанной методике математического моделирования, позволяющей разделить многосвязную задачу исследования чувствительного элемента датчика угловых скоростей на ряд упрощённых задач. Систематизация и анализ взаимодействия этих исследований позволит изучить влияние отдельных факторов на поведение системы в целом.