Details

Title: Разработка конструкции и технологии изготовления вибрационного микромеханического гироскопа повышенной точности: бакалаврская работа: 22.03.01
Creators: Чумак Максим Александрович
Scientific adviser: Акульшин Юрий Дмитриевич
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Imprint: Санкт-Петербург, 2016
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: разработка конструкции; вибрационный микрогироскоп; чувствительный элемент; сенсор; навигационный класс точности
Document type: Bachelor graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 22.03.01
Speciality group (FGOS): 220000 - Технологии материалов
DOI: 10.18720/SPBPU/2/v16-3025
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Предмет исследования - микромеханические инерциальные приборы. Объект исследования - конструкции и технологии создания чувствительных элементов микромеханических гироскопов. Цель работы - разработка конструкции и технологии создания чувствительных элементов датчиков угловых скоростей вибрационного типа навигационного класса точности. Для достижения поставленной цели в работе решены следующие основные задачи: 1. Проведен анализ литературных источников, в которых были рассмотрены принципы функционирования микромеханических гироскопов различных видов, оказавший помощь при выборе оптимальной конструкции чувствительного элемента датчика угловых скоростей. 2. Проведен анализ факторов влияющих на точность измерения микрогироскопов, к которым относятся технологические погрешности, паразитные явления и внешние механические воздействия. 3. На основе проведенных расчетов и компьютерного моделирования разработана уточненная конструкция чувствительного элемента датчика угловых скоростей, учитывающая влияние внешних воздействий и внутренних перекрестных связей на параметры чувствительного элемента, удовлетворяющая требованиям. 4. Рассмотрены особенности процесса реактивного ионно-плазменного травления кремниевой подложки и технологии анодной сварки кремния со стеклом для дальнейшего подбора оптимальных параметров проведения этих процессов. 5. Разработан оптимальный технологический маршрут изготовления микрогироскопа, обеспечивающий его высокие точностные характеристики и экономичность производственного процесса. 6. Проведен анализ полученных результатов работы. Метод исследования основан на разработанной методике математического моделирования, позволяющей разделить многосвязную задачу исследования чувствительного элемента датчика угловых скоростей на ряд упрощённых задач. Систематизация и анализ взаимодействия этих исследований позволит изучить влияние отдельных факторов на поведение системы в целом.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users Read Print Download
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 198
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics