Details

Title: Установка рефлектометрии для металлорганической газофазной эпитаксии гетероструктур: бакалаврская работа: 11.03.01
Creators: Самогаев Никита Анатольевич
Scientific adviser: Сергеев Александр Яковлевич
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint: Санкт-Петербург, 2016
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: лазер; рефлектометрия; обработка сигнала
Document type: Bachelor graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 11.03.01
Speciality group (FGOS): 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
DOI: 10.18720/SPBPU/2/v17-1392
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Цель работы - разработка установки рефлектометрии для контроля зоны роста гетероструктур типа А3В5, выращиваемых методом металлорганической газофазной эпитаксии (МОГФЭ) и разработано техническое задание на её построение. Были реализованы новые подходы: за счет модуляции частоты излучения лазера удалось выделить из общего излучения только излучение отраженного луча лазера; детектирование по двум каналам позволило учесть собственную нестабильность работы лазера; за счет применения оптических фильтров и фокусирующих линз, а также высокой частоты оцифровки с нахождение среднего значения для каждого полупериода, была повышена точность измерения скорости роста подложки. Спроектированная установка удовлетворяет техническому заданию.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
Internet Authorized users (not from SPbPU)
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 56
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics