Details

Title Исследование буферных слоев нитридов металлов III группы методом картирования рассеянной интенсивности рентгеновских лучей в пространстве обратной решетки вблизи отражений от ассиметричных плоскостей гетероструктуры: магистерская диссертация: 11.04.04
Creators Салаш Мария Андреевна
Scientific adviser Байдакова М. В. ; Бурковский Роман Георгиевич
Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint Санкт-Петербург, 2017
Collection Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция
Subjects Металлы переходные, нитриды ; Кремний, карбиды ; Дифракция ; Полупроводниковые гетеропереходы ; Рентгеноспектральный анализ ; карты обратного пространства ; буферный слой
UDC 537.311.322(043.3) ; 546.302'171.1(043.3) ; 546.281'261(043.3) ; 539.26(043.3)
Document type Master graduation qualification work
File type PDF
Language Russian
Level of education Master
Speciality code (FGOS) 11.04.04
Speciality group (FGOS) 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
DOI 10.18720/SPBPU/2/v17-3100
Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key RU\SPSTU\edoc\44775
Record create date 10/16/2017

Allowed Actions

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network

Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group Anonymous
Network Internet

Было изучено 4 гетероструктуры методами карт обратного пространства с целью выявления особенностей начального роста буферного слоя GaN и его влияния на параметры ТВПЭ-структуры. На примере материала InGaN продемонстрированы возможности таких диагностических методов как ВИМС, ПЭМ, РСМА, РД, РЭМ для характеризации буферов.

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All
Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU
Read Print Download
Internet Anonymous

Access count: 426 
Last 30 days: 0

Detailed usage statistics