Моор, Светлана Юрьевна. Плазмохимическое травление кремния в емкостно-связанном ВЧ разряде [Электронный ресурс]: магистерская диссертация: 22.04.01 / С. Ю. Моор; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт металлургии, машиностроения и транспорта ; науч. рук. А. И. Демидов. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 2,87 Мб). — Санкт-Петербург, 2017. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/v17-3425.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v17-3425>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2017
|
15
|
0
|
35
|
0
|
50
|
|
Год 2018
|
45
|
0
|
247
|
0
|
292
|
|
Год 2019
|
14
|
0
|
271
|
0
|
285
|
|
Год 2020
|
7
|
0
|
63
|
0
|
70
|
|
Год 2021
|
4
|
0
|
4
|
0
|
8
|
|
Год 2022
|
1
|
0
|
4
|
0
|
5
|
|
Всего
|
86
|
0
|
624
|
0
|
710
|
