Моор, Светлана Юрьевна. Плазмохимическое травление кремния в емкостно-связанном ВЧ разряде [Электронный ресурс]: магистерская диссертация: 22.04.01 / С. Ю. Моор; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт металлургии, машиностроения и транспорта ; науч. рук. А. И. Демидов. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 2,87 Мб). — Санкт-Петербург, 2017. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/v17-3425.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v17-3425>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2017
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
12
|
0
|
11
|
0
|
23
|
|
Ноябрь
|
0
|
0
|
14
|
0
|
14
|
|
Декабрь
|
3
|
0
|
10
|
0
|
13
|
|
Год 2018
|
Квартал 1
|
Январь
|
1
|
0
|
12
|
0
|
13
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
23
|
0
|
23
|
|
Март
|
3
|
0
|
8
|
0
|
11
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
6
|
0
|
9
|
0
|
15
|
|
Май
|
5
|
0
|
34
|
0
|
39
|
|
Июнь
|
7
|
0
|
38
|
0
|
45
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
5
|
0
|
16
|
0
|
21
|
|
Август
|
5
|
0
|
22
|
0
|
27
|
|
Сентябрь
|
4
|
0
|
22
|
0
|
26
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
3
|
0
|
32
|
0
|
35
|
|
Ноябрь
|
4
|
0
|
20
|
0
|
24
|
|
Декабрь
|
2
|
0
|
11
|
0
|
13
|
|
Год 2019
|
Квартал 1
|
Январь
|
1
|
0
|
14
|
0
|
15
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
8
|
0
|
8
|
|
Март
|
4
|
0
|
17
|
0
|
21
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
0
|
0
|
17
|
0
|
17
|
|
Май
|
1
|
0
|
23
|
0
|
24
|
|
Июнь
|
1
|
0
|
13
|
0
|
14
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
1
|
0
|
7
|
0
|
8
|
|
Август
|
0
|
0
|
8
|
0
|
8
|
|
Сентябрь
|
2
|
0
|
29
|
0
|
31
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
1
|
0
|
22
|
0
|
23
|
|
Ноябрь
|
3
|
0
|
46
|
0
|
49
|
|
Декабрь
|
0
|
0
|
67
|
0
|
67
|
|
Год 2020
|
Квартал 1
|
Январь
|
1
|
0
|
24
|
0
|
25
|
|
Февраль
|
1
|
0
|
25
|
0
|
26
|
|
Март
|
3
|
0
|
11
|
0
|
14
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
2
|
0
|
2
|
0
|
4
|
|
Май
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Июнь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Август
|
0
|
0
|
1
|
0
|
1
|
|
Сентябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Ноябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Декабрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Год 2021
|
Квартал 1
|
Январь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Март
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Май
|
1
|
0
|
4
|
0
|
5
|
|
Июнь
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Август
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Сентябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Ноябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Декабрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Год 2022
|
Квартал 1
|
Январь
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Март
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
0
|
0
|
2
|
0
|
2
|
|
Май
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Июнь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Август
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Сентябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Ноябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Декабрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Всего
|
86
|
0
|
624
|
0
|
710
|
