С 17 марта 2020 г. для ресурсов (учебные, научные, материалы конференций, статьи из периодических изданий, авторефераты диссертаций, диссертации) ЭБ СПбПУ, обеспечивающих образовательный процесс, установлен особый режим использования. Обращаем внимание, что ВКР/НД не относятся к этой категории.

Details

Title: Влияние условий сухого травления на КПД солнечных элементов на кремнии: выпускная квалификационная работа бакалавра: 11.03.04 - Электроника и наноэлектроника ; 11.03.04_04 - Микроэлектроника и твердотельная электроника
Creators: Алексеев Никита Владимирович
Scientific adviser: Зыков Валерий Андреевич; Морозов И. А.
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint: Санкт-Петербург, 2018
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: солнечный элемент; сухое травление; наносферная литография; спектр отражения
Document type: Bachelor graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 03.03.01
Speciality group (FGOS): 030000 - Физика и астрономия
Links: Отзыв руководителя
DOI: 10.18720/SPBPU/2/v18-2242
Rights: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать)

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

В работе были исследованы солнечные элементы и предложена методика увеличения их КПД за счет создания особой структуры, благодаря которой было уменьшено отражение от поверхности образца. Были применены метод сухого травления с вариацией параметров, отвечающих за качество травления, и метод наносферной литографии. Были сняты спектр отражения изготовленного образца и сравнен со стандартным образцом, применяемым в производстве, а так же со спектром кремния. В результате данной работы была разработана методика нанесения литографии и процесса травления, которая позволяет изготовить оптимальный образец с приемлемым отражением.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print
Internet Authorized users Read Print
-> Internet Anonymous

Table of Contents

  • СПИСОК ОБОЗНАЧЕНИЙ И СОКРАЩЕНИЙ
  • ВВЕДЕНИЕ
  • 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
    • 1.1. Основные сведения о солнечных элементах
    • 1.2. Поглощение света
    • 1.3. Рекомбинация
    • 1.4. p-n переход
    • 1.5. Влияние ширины запрещенной зоны на КПД
    • 1.6 Отражение и пропускание
  • 2. ОСНОВНЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ
    • 2.1. Сухое травление
    • 2.2. Наносферная литография
  • ЦЕЛИ И ЗАДАЧИ
  • 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ
    • 3.1. Описание экспериментальной установки
    • 3.2. Используемые экспериментальные образцы
      • 3.2.1. Наносферная литография
      • 3.2.2. Сухое травление
    • 3.3. Измерение спектров отражений
  • 4. Проанализированы полученные результаты и проведено сравнение с табличными значениями.
  • Была разработана методика нанесения литографии и процесса травления, которая позволяет изготовить оптимальный образец с приемлемым отражением.
  • В ходе выполнения работы был вынесен ряд технологических особенностей:
  • Отражение образца получилось порядка 0,4%. Таким образом, потери КПД на отражение сведены к минимуму.
  • СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
  • ПРИЛОЖЕНИЕ

Usage statistics

stat Access count: 23
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics