В данном документе описывается управление и программирование системы напыления Kenotec, реализованное в среде MSAccess с использованием языка VBA. Также описан процесс изготовления структуры спинового клапана при помощи системы Kenotec. Влияние процесса отжига на эффект GMR также проверяется в проекте. По результатам предыдущей работы модель датчика GMR спроектирована и реализована методом литографии.

In this thesis, the control and programming of the Kenotec sputtering system is implemented in the MS Access environment with the VBA language. Then the spin valve structure is manufactured with the Kenotec system and characterized in the clean room. The effects of the annealing process on the GMR effect are also tested in the project. With the results of the previous work, the pattern of the GMR sensor is designed and realized by the lithography process.