Details
| Title | Создание микромеханического переключателя для инфракрасного излучения: выпускная квалификационная работа магистра: 22.04.01 - Материаловедение и технологии материалов ; 22.04.01_01 - Материаловедение наноматериалов и компонентов электронной техники |
|---|---|
| Creators | Аскинази Виктория Анатольевна |
| Scientific adviser | Шахмин Александр Львович |
| Organization | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта |
| Imprint | Санкт-Петербург, 2018 |
| Collection | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
| Subjects | Электростатика ; Переключатели ; Инфракрасная техника ; Инфракрасные лучи ; актюаторы ; кантилевер ; поверхностная микрообработка |
| UDC | 621.384.3 |
| Document type | Master graduation qualification work |
| File type | |
| Language | Russian |
| Level of education | Master |
| Speciality code (FGOS) | 22.04.01 |
| Speciality group (FGOS) | 220000 - Технологии материалов |
| Links | Отзыв руководителя ; Рецензия |
| DOI | 10.18720/SPBPU/2/v18-889 |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\53393 |
| Record create date | 9/27/2018 |
Allowed Actions
–
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
| Group | Anonymous |
|---|---|
| Network | Internet |
Настоящая работа выполнялась в интересах АО "РКЦ "Прогресс"-НПП "Оптэкс" (Зеленоград) для использования при производстве космических аппаратов класса «Ресурс». В данной работе изложена сущность подхода к созданию микромеханического переключателя для инфракрасного излучения на основе технологии поверхностной микрообработки кремния. Изучены принципы работы подобных микромеханических систем. Разработан технологический маршрут изготовления. Проведен анализ влияния конструктивных изменений переключателя на напряжение срабатывания.
| Network | User group | Action |
|---|---|---|
| ILC SPbPU Local Network | All |
|
| Internet | Authorized users SPbPU |
|
| Internet | Anonymous |
|
Access count: 149
Last 30 days: 0
