?
С 17 марта 2020 г. для ресурсов (учебные, научные, материалы конференций, статьи из периодических изданий, авторефераты диссертаций, диссертации) ЭБ СПбПУ, обеспечивающих образовательный процесс, установлен особый режим использования. Обращаем внимание, что ВКР/НД не относятся к этой категории.

Details
Table Card RUSMARC
Title: Создание микромеханического переключателя для инфракрасного излучения: выпускная квалификационная работа магистра: 22.04.01 - Материаловедение и технологии материалов ; 22.04.01_01 - Материаловедение наноматериалов и компонентов электронной техники
Creators: Аскинази Виктория Анатольевна
Scientific adviser: Шахмин Александр Львович
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Imprint: Санкт-Петербург, 2018
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: Электростатика; Переключатели; Инфракрасная техника; Инфракрасные лучи; актюаторы; кантилевер; поверхностная микрообработка
UDC: 621.384.3
Document type: Master graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 22.04.01
Speciality group (FGOS): 220000 - Технологии материалов
Links: Отзыв руководителя; Рецензия
DOI: 10.18720/SPBPU/2/v18-889
Rights: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions: –

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Настоящая работа выполнялась в интересах АО "РКЦ "Прогресс"-НПП "Оптэкс" (Зеленоград) для использования при производстве космических аппаратов класса «Ресурс». В данной работе изложена сущность подхода к созданию микромеханического переключателя для инфракрасного излучения на основе технологии поверхностной микрообработки кремния. Изучены принципы работы подобных микромеханических систем. Разработан технологический маршрут изготовления. Проведен анализ влияния конструктивных изменений переключателя на напряжение срабатывания.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users Read Print Download
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 144
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics