Details

Title Создание микромеханического переключателя для инфракрасного излучения: выпускная квалификационная работа магистра: 22.04.01 - Материаловедение и технологии материалов ; 22.04.01_01 - Материаловедение наноматериалов и компонентов электронной техники
Creators Аскинази Виктория Анатольевна
Scientific adviser Шахмин Александр Львович
Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Imprint Санкт-Петербург, 2018
Collection Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция
Subjects Электростатика ; Переключатели ; Инфракрасная техника ; Инфракрасные лучи ; актюаторы ; кантилевер ; поверхностная микрообработка
UDC 621.384.3
Document type Master graduation qualification work
File type PDF
Language Russian
Level of education Master
Speciality code (FGOS) 22.04.01
Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов
Links Отзыв руководителя ; Рецензия
DOI 10.18720/SPBPU/2/v18-889
Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key RU\SPSTU\edoc\53393
Record create date 9/27/2018

Allowed Actions

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network

Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group Anonymous
Network Internet

Настоящая работа выполнялась в интересах АО "РКЦ "Прогресс"-НПП "Оптэкс" (Зеленоград) для использования при производстве космических аппаратов класса «Ресурс». В данной работе изложена сущность подхода к созданию микромеханического переключателя для инфракрасного излучения на основе технологии поверхностной микрообработки кремния. Изучены принципы работы подобных микромеханических систем. Разработан технологический маршрут изготовления. Проведен анализ влияния конструктивных изменений переключателя на напряжение срабатывания.

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All
Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU
Read Print Download
Internet Anonymous

Access count: 149 
Last 30 days: 0

Detailed usage statistics