?

Детальная информация
Таблица Карточка RUSMARC
Название: Физические основы микро- и нанотехнологий: учебное пособие
Авторы: Захарова Ирина Борисовна
Организация: Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Факультет технической кибернетики
Выходные сведения: СПб., 2010
Коллекция: Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция
Тематика: Микроэлектроника; Наноструктурные материалы
УДК: 621.382.049.77(075.8); 620.22-022.53(075.8)
Тип документа: Учебник
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Права доступа: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Ключ записи: RU\SPSTU\edoc\19151

Разрешенные действия: Прочитать Загрузить (3,9 Мб)

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Рассмотрены физические особенности формирования микро- и наноразмерных структур, лежащих в основе современной наноэлектроники, основные технологические методы получения таких структур и перспективы их развития. Большое внимание уделено физическим и технологическим ограничениям на предельные параметры микро- и наноструктур. Реализация технологических процессов рассмотрена на примере МОП-структур интегральных схем с малыми размерами элементов и углеродных наноструктур.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Все Прочитать Печать Загрузить

Оглавление

  • 3.4. Тонкопленочные резисторы и конденсаторы…………………………111
  • Рассмотренные квантовые явления уже используются в разработанных к настоящему времени наноэлектронных элементах для информацио
  • Молекулярно-лучевая эпитаксия
  • Гетероэпитаксия. Технология "Кремний на изоляторе"
  • Рис.3.1. Последовательность операций изготовления двухуровневой
  • Al металлизации
    • 3.4. ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ РЕЗИСТОРЫ И КОНДЕНСАТОРЫ

Статистика использования

stat Количество обращений: 6676
За последние 30 дней: 134
Подробная статистика