Details

Title: Физические основы микро- и нанотехнологий: учебное пособие
Creators: Захарова Ирина Борисовна
Organization: Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Факультет технической кибернетики
Imprint: СПб., 2010
Collection: Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция
Subjects: Микроэлектроника; Наноструктурные материалы
UDC: 621.382.049.77(075.8); 620.22-022.53(075.8)
Document type: Tutorial
File type: PDF
Language: Russian
Rights: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions: Read Download (3.9 Mb)

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Рассмотрены физические особенности формирования микро- и наноразмерных структур, лежащих в основе современной наноэлектроники, основные технологические методы получения таких структур и перспективы их развития. Большое внимание уделено физическим и технологическим ограничениям на предельные параметры микро- и наноструктур. Реализация технологических процессов рассмотрена на примере МОП-структур интегральных схем с малыми размерами элементов и углеродных наноструктур.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users Read Print Download
-> Internet Anonymous Read Print Download

Table of Contents

  • 3.4. Тонкопленочные резисторы и конденсаторы…………………………111
  • Рассмотренные квантовые явления уже используются в разработанных к настоящему времени наноэлектронных элементах для информацио
  • Молекулярно-лучевая эпитаксия
  • Гетероэпитаксия. Технология "Кремний на изоляторе"
  • Рис.3.1. Последовательность операций изготовления двухуровневой
  • Al металлизации
    • 3.4. ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ РЕЗИСТОРЫ И КОНДЕНСАТОРЫ

Usage statistics

stat Access count: 789
Last 30 days: 56
Detailed usage statistics