Details
| Title | Физические основы микро- и нанотехнологий: учебное пособие |
|---|---|
| Creators | Захарова Ирина Борисовна |
| Organization | Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Факультет технической кибернетики |
| Imprint | СПб., 2010 |
| Collection | Учебная и учебно-методическая литература ; Общая коллекция |
| Subjects | Микроэлектроника ; Наноструктурные материалы |
| UDC | 621.382.049.77(075.8) ; 620.22-022.53(075.8) |
| Document type | Tutorial |
| File type | |
| Language | Russian |
| Rights | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\19151 |
| Record create date | 5/3/2012 |
Рассмотрены физические особенности формирования микро- и наноразмерных структур, лежащих в основе современной наноэлектроники, основные технологические методы получения таких структур и перспективы их развития. Большое внимание уделено физическим и технологическим ограничениям на предельные параметры микро- и наноструктур. Реализация технологических процессов рассмотрена на примере МОП-структур интегральных схем с малыми размерами элементов и углеродных наноструктур.
| Network | User group | Action |
|---|---|---|
| ILC SPbPU Local Network | All |
|
| Internet | All |
|
- 3.4. Тонкопленочные резисторы и конденсаторы…………………………111
- Рассмотренные квантовые явления уже используются в разработанных к настоящему времени наноэлектронных элементах для информацио
- Молекулярно-лучевая эпитаксия
- Гетероэпитаксия. Технология "Кремний на изоляторе"
- Рис.3.1. Последовательность операций изготовления двухуровневой
- Al металлизации
- 3.4. ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ РЕЗИСТОРЫ И КОНДЕНСАТОРЫ
Access count: 7890
Last 30 days: 108
