Детальная информация
| Название | Разработка оборудования для экспресс-анализа концентраций примесей в полупроводниковых материалах методом статической фурье-спектроскопии: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.27.06 |
|---|---|
| Авторы | Белаш Александр Олегович |
| Организация | Санкт-Петербургский государственный политехнический университет |
| Выходные сведения | СПб., 2012 |
| Коллекция | Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция |
| Тематика | Полупроводники — Примеси; Фурье-спектроскопия |
| УДК | 537.311.322:535.33(043.3); 681.785.574(043.3) |
| Тип документа | Автореферат |
| Тип файла | |
| Язык | Русский |
| Права доступа | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\19180 |
| Дата создания записи | 17.05.2012 |
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|---|---|
| Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
| Интернет | Все |
|
Количество обращений: 869
За последние 30 дней: 6
