Details

Title Разработка оборудования для экспресс-анализа концентраций примесей в полупроводниковых материалах методом статической фурье-спектроскопии: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.27.06
Creators Белаш Александр Олегович
Organization Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Imprint СПб., 2012
Collection Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция
Subjects Полупроводники — Примеси ; Фурье-спектроскопия
UDC 537.311.322:535.33(043.3) ; 681.785.574(043.3)
Document type Author's Abstract
File type PDF
Language Russian
Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key RU\SPSTU\edoc\19180
Record create date 5/17/2012

Allowed Actions

Read Download (0.8 Mb)

Group Anonymous
Network Internet
Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All
Read Print Download
Internet All

Access count: 927 
Last 30 days: 5

Detailed usage statistics