Details
| Title | Разработка оборудования для экспресс-анализа концентраций примесей в полупроводниковых материалах методом статической фурье-спектроскопии: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.27.06 |
|---|---|
| Creators | Белаш Александр Олегович |
| Organization | Санкт-Петербургский государственный политехнический университет |
| Imprint | СПб., 2012 |
| Collection | Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция |
| Subjects | Полупроводники — Примеси ; Фурье-спектроскопия |
| UDC | 537.311.322:535.33(043.3) ; 681.785.574(043.3) |
| Document type | Author's Abstract |
| Language | Russian |
| Rights | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\19180 |
| Record create date | 5/17/2012 |
| Network | User group | Action |
|---|---|---|
| ILC SPbPU Local Network | All |
|
| Internet | All |
|
Access count: 1028
Last 30 days: 25
