Details
Title | Разработка оборудования для экспресс-анализа концентраций примесей в полупроводниковых материалах методом статической фурье-спектроскопии: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.27.06 |
---|---|
Creators | Белаш Александр Олегович |
Organization | Санкт-Петербургский государственный политехнический университет |
Imprint | СПб., 2012 |
Collection | Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция |
Subjects | Полупроводники — Примеси ; Фурье-спектроскопия |
UDC | 537.311.322:535.33(043.3) ; 681.785.574(043.3) |
Document type | Author's Abstract |
File type | |
Language | Russian |
Rights | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Record key | RU\SPSTU\edoc\19180 |
Record create date | 5/17/2012 |
Access count: 927
Last 30 days: 5