Details

Title: Синтез пленки оксида кремния в диэлектрическом барьерном разряде атмосферного давления: выпускная квалификационная работа магистра: 22.04.01 - Материаловедение и технологии материалов ; 22.04.01_01 - Материаловедение наноматериалов и компонентов электронной техники
Creators: Маловичко Виктор Александрович
Scientific adviser: Мишин Максим Валерьевич
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Imprint: Санкт-Петербург, 2019
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: Наноструктурные материалы; Железо, окислы; Кремний, окислы; Пленки тонкие — Получение; наночастицы; оксид железа; оксид кремния; атмосферное давление
UDC: 620.22-022.53(043.3); 539.23:546.28-31(043.3)
Document type: Master graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 22.04.01
Speciality group (FGOS): 220000 - Технологии материалов
Links: Отзыв руководителя; Рецензия; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-1082
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать)

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Сейчас в мире огромное количество технологий, которые работают незаметно для нас. К ним относятся различные датчики, сенсоры, процессоры и прочие объекты, размер которых настолько мал, что для создания их требуются все новые и новые технологии. Создание таких приборов очень дорогостоящий и длительный процесс. Для снижения себестоимости конечного продукта, выгодно, отказываться от операций, которые очень часто повторяются, либо объединение этих процессов в один. В данной работе представлены результаты по созданию установки, в которой реализованы два вида разрядов атмосферного давления: ВЧ и ДБ разряды. В результате получены пленка оксида кремния и наночастицы оксида железа.

Now in the world a huge number of technologies that work imperceptibly for us. These include various sensors, sensors, processors and other objects whose size is so small that they require all new and new technologies to create them. The creation of such devices is very expensive and time consuming process. To reduce the cost of the final product, it is beneficial to abandon operations that are very often repeated, or the combination of these processes into one. This paper presents the results of creating an installation in which two types of atmospheric pressure discharges are implemented: HF and DB discharges. The result is a silicon oxide film and iron oxide nanoparticles.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print
Internet Authorized users SPbPU Read Print
Internet Authorized users (not from SPbPU)
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 22
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics