?

Детальная информация
Таблица Карточка RUSMARC
Название: Модернизация установки плазмохимического травления различных материалов электронной техники: выпускная квалификационная работа бакалавра: 28.03.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника ; 28.03.01_01 - Технологии материалов и изделий микросистемной техники
Авторы: Макурин Илья Владимирович
Научный руководитель: Таганцев Дмитрий Кириллович
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2019
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: методы плазмохимического травления; травление ниобата лития; установки плазмохимического травления; технологии плазмохимического травления; высокотемпературное плазмохимическое травление; plasma chemical etching methods; niobat lithium eyching; plasma chemical installation; technology of plasma chemical etching; high temperature plasma chemical etching
Тип документа: Выпускная квалификационная работа бакалавра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Уровень высшего образования: Бакалавриат
Код специальности ФГОС: 28.03.01
Группа специальностей ФГОС: 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы
Ссылки: Отзыв руководителя; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-2303
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Ключ записи: ru\spstu\vkr\1316

Разрешенные действия: –

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

В данной работе была проведена модернизация установки плазмохимического травления путем разработки подложкодержателя, укомплектованного нагревательным элементом. Разработка модели подложкодержателя проводилась в программе SOLIDWORKS, просчет модели осуществлялся в программе COMSOL Multiphysics.

This abstract is about carrying out modernization of installation for plasma chemical etching. Modernization is to develop substrate holder with heating element inside. Model developing was realized by using SOLIDWORKS program, calculation was carried out in the program COMSOL Multiphysics.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи СПбПУ Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Анонимные пользователи

Статистика использования

stat Количество обращений: 71
За последние 30 дней: 1
Подробная статистика