Details

Title Модернизация установки плазмохимического травления различных материалов электронной техники: выпускная квалификационная работа бакалавра: 28.03.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника ; 28.03.01_01 - Технологии материалов и изделий микросистемной техники
Creators Макурин Илья Владимирович
Scientific adviser Таганцев Дмитрий Кириллович
Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Imprint Санкт-Петербург, 2019
Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects методы плазмохимического травления; травление ниобата лития; установки плазмохимического травления; технологии плазмохимического травления; высокотемпературное плазмохимическое травление; plasma chemical etching methods; niobat lithium eyching; plasma chemical installation; technology of plasma chemical etching; high temperature plasma chemical etching
Document type Bachelor graduation qualification work
File type PDF
Language Russian
Level of education Bachelor
Speciality code (FGOS) 28.03.01
Speciality group (FGOS) 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы
Links Отзыв руководителя; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-2303
Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key ru\spstu\vkr\1316
Record create date 8/26/2019

Allowed Actions

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network

Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group Anonymous
Network Internet

В данной работе была проведена модернизация установки плазмохимического травления путем разработки подложкодержателя, укомплектованного нагревательным элементом. Разработка модели подложкодержателя проводилась в программе SOLIDWORKS, просчет модели осуществлялся в программе COMSOL Multiphysics.

This abstract is about carrying out modernization of installation for plasma chemical etching. Modernization is to develop substrate holder with heating element inside. Model developing was realized by using SOLIDWORKS program, calculation was carried out in the program COMSOL Multiphysics.

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All
Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU
Read Print Download
Internet Anonymous

Access count: 71 
Last 30 days: 0

Detailed usage statistics