Details
| Title | Модернизация установки плазмохимического травления различных материалов электронной техники: выпускная квалификационная работа бакалавра: 28.03.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника ; 28.03.01_01 - Технологии материалов и изделий микросистемной техники |
|---|---|
| Creators | Макурин Илья Владимирович |
| Scientific adviser | Таганцев Дмитрий Кириллович |
| Organization | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта |
| Imprint | Санкт-Петербург, 2019 |
| Collection | Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция |
| Subjects | методы плазмохимического травления; травление ниобата лития; установки плазмохимического травления; технологии плазмохимического травления; высокотемпературное плазмохимическое травление; plasma chemical etching methods; niobat lithium eyching; plasma chemical installation; technology of plasma chemical etching; high temperature plasma chemical etching |
| Document type | Bachelor graduation qualification work |
| File type | |
| Language | Russian |
| Level of education | Bachelor |
| Speciality code (FGOS) | 28.03.01 |
| Speciality group (FGOS) | 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы |
| Links | Отзыв руководителя; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований |
| DOI | 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-2303 |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Record key | ru\spstu\vkr\1316 |
| Record create date | 8/26/2019 |
Allowed Actions
–
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
| Group | Anonymous |
|---|---|
| Network | Internet |
В данной работе была проведена модернизация установки плазмохимического травления путем разработки подложкодержателя, укомплектованного нагревательным элементом. Разработка модели подложкодержателя проводилась в программе SOLIDWORKS, просчет модели осуществлялся в программе COMSOL Multiphysics.
This abstract is about carrying out modernization of installation for plasma chemical etching. Modernization is to develop substrate holder with heating element inside. Model developing was realized by using SOLIDWORKS program, calculation was carried out in the program COMSOL Multiphysics.
| Network | User group | Action |
|---|---|---|
| ILC SPbPU Local Network | All |
|
| Internet | Authorized users SPbPU |
|
| Internet | Anonymous |
|
Access count: 71
Last 30 days: 0
