Electronic Documents Search
Documents found: 1
-
Creators Макурин Илья Владимирович Scientific adviser Таганцев Дмитрий Кириллович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects методы плазмохимического травления; травление ниобата лития; установки плазмохимического травления; технологии плазмохимического травления; высокотемпературное плазмохимическое травление; plasma chemical etching methods; niobat lithium eyching; plasma chemical installation; technology of plasma chemical etching; high temperature plasma chemical etching Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 28.03.01 Speciality group (FGOS) 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-2303-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-2303-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-2303 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.1 Mb
