В данной работе рассматриваются различные методы обработки сигнала нестационарной спектроскопии глубоких уровней (DLTS). В ходе работы было проведено сравнение фильтров с использованием корреляционной процедуры (Double Boxcar, GS-4, GS-6) и метода, основанного на обратном преобразовании Лапласа (Laplace-DLTS). Фильтр Laplace-DLTS был разработан и реализован в среде MATLAB. Изучено влияние параметров на работу фильтра Laplace-DLTS и показано, что данный метод работает корректно и обладает наибольшей разрешающей способностью среди рассматриваемых фильтров.

This paper discusses various methods for processing deep level transient spectroscopy (DLTS) signal. In the course of the work, filters were compared using the correlation procedure (Double Boxcar, GS-4, GS-6) and the method based on the inverse Laplace transform (Laplace-DLTS). The Laplace-DLTS filter was developed and implemented in the MATLAB environment. The influence of parameters on the operation of the Laplace-DLTS filter has been studied and it has been shown that this method works correctly and has the highest resolution among all the filters in this paper.