Details

Title: Разработка метода Laplace-DLTS для определения параметров дефектов с глубокими уровнями в полупроводниковых структурах: выпускная квалификационная работа бакалавра: 03.03.02 - Физика ; 03.03.02_08 - Физика и технология наноструктур
Creators: Егоров Дмитрий Алексеевич
Scientific adviser: Липовский Андрей Александрович
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint: Санкт-Петербург, 2019
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: глубокий уровень; полупроводник; барьер Шоттки; DLTS; Laplace-DLTS; обратное преобразование Лапласа; весовая функция; метод регуляризации Тихонова; deep level; semiconductor; Schottky barrier; inverse Laplace transform; weight function; Tikhonov regularization method
Document type: Bachelor graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Level of education: Bachelor
Speciality code (FGOS): 03.03.02
Speciality group (FGOS): 030000 - Физика и астрономия
Links: Отзыв руководителя; Рецензия; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-2874
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key: ru\spstu\vkr\3143

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

В данной работе рассматриваются различные методы обработки сигнала нестационарной спектроскопии глубоких уровней (DLTS). В ходе работы было проведено сравнение фильтров с использованием корреляционной процедуры (Double Boxcar, GS-4, GS-6) и метода, основанного на обратном преобразовании Лапласа (Laplace-DLTS). Фильтр Laplace-DLTS был разработан и реализован в среде MATLAB. Изучено влияние параметров на работу фильтра Laplace-DLTS и показано, что данный метод работает корректно и обладает наибольшей разрешающей способностью среди рассматриваемых фильтров.

This paper discusses various methods for processing deep level transient spectroscopy (DLTS) signal. In the course of the work, filters were compared using the correlation procedure (Double Boxcar, GS-4, GS-6) and the method based on the inverse Laplace transform (Laplace-DLTS). The Laplace-DLTS filter was developed and implemented in the MATLAB environment. The influence of parameters on the operation of the Laplace-DLTS filter has been studied and it has been shown that this method works correctly and has the highest resolution among all the filters in this paper.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
External organizations N2 All Read
External organizations N1 All
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
Internet Authorized users (not from SPbPU, N2) Read
Internet Authorized users (not from SPbPU, N1)
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 23
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics