Таблица | Карточка | RUSMARC | |
Разрешенные действия: –
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Группа: Анонимные пользователи Сеть: Интернет |
Аннотация
В представленной работе описывается новый метод подавления периферического поглощения EUV излучения в Xe газоструйном источнике света. С помощью поворотных брэгговских зеркал измерены спектры плотности мощности излучения Xe лазерной плазмы в полосе 11–14 нм. Показано, что при использовании разработанного метода регистрируемый сигнал EUV излучения в полосе длин волн λ= 11÷11,8 нм вырос в 4 раза, а в полосе длин волн λ= 12,7÷14,2 нм – в 10 раз. Впервые для источника с Xe газоструйной мишенью получен конверсионный коэффициент η_(conv ) = (3,65±0,35)%.
The present paper describes a new method for suppressing the peripheral absorption of EUV radiation in a Xe gas-jet source. Using turnable Bragg mirrors, spectra of the Xe radiation power density of a laser plasma in the 11-14 nm band were measured. It is shown that using the developed method, the registered signal of EUV radiation in the wavelength band λ = 11 ÷ 11.8 nm increased 4 times, and in the wavelength band λ = 12.7 ÷ 14.2 nm – 10 times. At first for a source with Xe gas-jet target, the conversion coefficient η_(conv ) = (3,65± 0,35)% was obtained.
Права на использование объекта хранения
Место доступа | Группа пользователей | Действие | ||||
---|---|---|---|---|---|---|
Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все | |||||
Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ | |||||
Интернет | Анонимные пользователи |
Статистика использования
Количество обращений: 29
За последние 30 дней: 0 Подробная статистика |