Детальная информация

Название: Оптимизация Xe лазерно - плазменного источника EUV излучения для литографии. Новый метод подавления периферического поглощения: выпускная квалификационная работа магистра: 03.04.02 - Физика ; 03.04.02_05 - Физика плазмы
Авторы: Буторин Павел Сергеевич
Научный руководитель: Сергеев Владимир Юрьевич
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2019
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: Лазерная плазма; Фотолитография; EUV литография; периферическое поглощение; брэгговские зеркала; спектр излучения Xe; конверсионный коэффициент
УДК: 533.9:621.373.826; 776
Тип документа: Выпускная квалификационная работа магистра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Код специальности ФГОС: 03.04.02
Группа специальностей ФГОС: 030000 - Физика и астрономия
Ссылки: Отзыв руководителя; Рецензия; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-3839
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Разрешенные действия:

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

В представленной работе описывается новый метод подавления периферического поглощения EUV излучения в Xe газоструйном источнике света. С помощью поворотных брэгговских зеркал измерены спектры плотности мощности излучения Xe лазерной плазмы в полосе 11–14 нм. Показано, что при использовании разработанного метода регистрируемый сигнал EUV излучения в полосе длин волн λ= 11÷11,8 нм вырос в 4 раза, а в полосе длин волн λ= 12,7÷14,2 нм – в 10 раз. Впервые для источника с Xe газоструйной мишенью получен конверсионный коэффициент η_(conv ) = (3,65±0,35)%.

The present paper describes a new method for suppressing the peripheral absorption of EUV radiation in a Xe gas-jet source. Using turnable Bragg mirrors, spectra of the Xe radiation power density of a laser plasma in the 11-14 nm band were measured. It is shown that using the developed method, the registered signal of EUV radiation in the wavelength band λ = 11 ÷ 11.8 nm increased 4 times, and in the wavelength band λ = 12.7 ÷ 14.2 nm – 10 times. At first for a source with Xe gas-jet target, the conversion coefficient η_(conv ) = (3,65± 0,35)% was obtained.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Анонимные пользователи

Статистика использования

stat Количество обращений: 24
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика