С 17 марта 2020 г. для ресурсов (учебные, научные, материалы конференций, статьи из периодических изданий, авторефераты диссертаций, диссертации) ЭБ СПбПУ, обеспечивающих образовательный процесс, установлен особый режим использования. Обращаем внимание, что ВКР/НД не относятся к этой категории.

Детальная информация

Название: Исследование свойств плазмы ВЧЕ разряда при селективном травлении нитрида и оксида кремния: выпускная квалификационная работа магистра: 03.04.02 - Физика ; 03.04.02_05 - Физика плазмы
Авторы: Панкратьев Павел Александрович
Научный руководитель: Смирнов Александр Сергеевич
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2019
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: Газовый разряд высокочастотный; Травление металлов; Плазма (физ.); Спектроскопия; Численные методы; высокочастотный емкостной разряд; плазменное травление; оптическая спектроскопия
УДК: 537.52; 621.794.4:533.932; 535.33
Тип документа: Выпускная квалификационная работа магистра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Код специальности ФГОС: 03.04.02
Группа специальностей ФГОС: 030000 - Физика и астрономия
Ссылки: Отзыв руководителя; Рецензия; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-3845
Права доступа: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Разрешенные действия:

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Данная работа посвящена экспериментальному и численному исследованию высокочастотного емкостного (ВЧЕ) разряда, предназначенного для травления тонких пленок нитрида кремния и оксида кремния. Основной целью данной работы является исследование влияния гелия в газоразрядной плазме в смеси Не/SF6/H2 на степень диссоциации SF6 и H2, скорости травления нитрида и оксида кремния. Анализ оптических спектров и результаты численного моделирования плазмы свидетельствуют о существенном влиянии гелия на диссоциацию водорода, что в свою очередь сказывается на скорости травления нитрида кремния.

A present work is aimed at experimental and numerical study of capacitively coupled radio frequency (RF) discharge properties for silicon nitride and silicon dioxide thin films etching. The main goal of this work is study of the effect of helium addition to the Не/SF6/H2 mixture on the SF6 and H2 dissociation degree, nitride and silicon dioxide etching rates. Analysis of optical emission spectra and numerical plasma simulation results demonstrate that helium addition significantly affects hydrogen dissociation rate, and thus silicon nitride etching rate.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Анонимные пользователи

Оглавление

  • Введение
  • Обзор литературы
    • Селективное травление
    • Плазменное травление нитрида кремния
    • Методы диагностики плазмы
      • Оптическая спектрометрия
      • Актинометрия
    • Моделирование плазмы.
      • Гидродинамическое приближение
    • Выводы из обзора литературы и постановка задачи
  • Описание установки
    • Описание разрядной камеры.
    • Измерение спектра излучения плазмы.
    • Диагностика скорости травления.
  • Результаты измерений
  • Моделирование и его результаты
  • Заключение
  • Список литературы

Статистика использования документа

stat Количество обращений: 27
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика