Разработан программный код и проведено трехмерное моделирование транспорта нейтральной примеси в условиях ВЧ-разряда. Код описывает столкновения нейтралей в широком диапазоне энергий, с использованием произвольных потенциалов нейтраль-нейтрального взаимодействия. Проведена экспериментальная валидация разработанного кода. Промоделирован транспорт распыленных загрязнений на оптических поверхностях, произведен анализ влияния проблемы переосаждения распыленной примеси на эффективность плазменной чистки.

The problem of particles redeposition at optical surfaces during cleaning discharge was investigated. Neutral impurity transport was simulated using the developed program code. The code allows using of any potentials of neutral-neutral particles interaction, wide range of particles energy is under the consideration. The experimental validation of the code was performed. The transport of sputtered particles on the optical surfaces has been simulated, the influence of the redeposition problem on the cleaning efficiency was analyzed.