Details

Title: Трехмерное моделирование транспорта нейтральной примеси в газе и слабоионизованной плазме: выпускная квалификационная работа магистра: 03.04.02 - Физика ; 03.04.02_05 - Физика плазмы
Creators: Варшавчик Лидия Александровна
Scientific adviser: Буланин Виктор Викторович
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint: Санкт-Петербург, 2019
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: Машинная графика; Термоядерные реакторы; Монте-Карло метод; Атомные столкновения; чистка ВЧ-разрядом; столкновения нейтралей; трехмерное моделирование; транспорт примеси
UDC: 004.925.84:621.039.6; 539.125.523.348; 539.17
Document type: Master graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 03.04.02
Speciality group (FGOS): 030000 - Физика и астрономия
Links: Отзыв руководителя; Рецензия; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-3966
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Разработан программный код и проведено трехмерное моделирование транспорта нейтральной примеси в условиях ВЧ-разряда. Код описывает столкновения нейтралей в широком диапазоне энергий, с использованием произвольных потенциалов нейтраль-нейтрального взаимодействия. Проведена экспериментальная валидация разработанного кода. Промоделирован транспорт распыленных загрязнений на оптических поверхностях, произведен анализ влияния проблемы переосаждения распыленной примеси на эффективность плазменной чистки.

The problem of particles redeposition at optical surfaces during cleaning discharge was investigated. Neutral impurity transport was simulated using the developed program code. The code allows using of any potentials of neutral-neutral particles interaction, wide range of particles energy is under the consideration. The experimental validation of the code was performed. The transport of sputtered particles on the optical surfaces has been simulated, the influence of the redeposition problem on the cleaning efficiency was analyzed.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users Read Print Download
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 25
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics