Details

Title Трехмерное моделирование транспорта нейтральной примеси в газе и слабоионизованной плазме: выпускная квалификационная работа магистра: 03.04.02 - Физика ; 03.04.02_05 - Физика плазмы
Creators Варшавчик Лидия Александровна
Scientific adviser Буланин Виктор Викторович
Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint Санкт-Петербург, 2019
Collection Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция
Subjects Машинная графика ; Термоядерные реакторы ; Монте-Карло метод ; Атомные столкновения ; чистка ВЧ-разрядом ; столкновения нейтралей ; трехмерное моделирование ; транспорт примеси
UDC 004.925.84:621.039.6 ; 539.125.523.348 ; 539.17
Document type Master graduation qualification work
File type PDF
Language Russian
Level of education Master
Speciality code (FGOS) 03.04.02
Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия
Links Отзыв руководителя ; Рецензия ; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-3966
Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key ru\spstu\vkr\2194
Record create date 9/18/2019

Allowed Actions

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network

Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group Anonymous
Network Internet

Разработан программный код и проведено трехмерное моделирование транспорта нейтральной примеси в условиях ВЧ-разряда. Код описывает столкновения нейтралей в широком диапазоне энергий, с использованием произвольных потенциалов нейтраль-нейтрального взаимодействия. Проведена экспериментальная валидация разработанного кода. Промоделирован транспорт распыленных загрязнений на оптических поверхностях, произведен анализ влияния проблемы переосаждения распыленной примеси на эффективность плазменной чистки.

The problem of particles redeposition at optical surfaces during cleaning discharge was investigated. Neutral impurity transport was simulated using the developed program code. The code allows using of any potentials of neutral-neutral particles interaction, wide range of particles energy is under the consideration. The experimental validation of the code was performed. The transport of sputtered particles on the optical surfaces has been simulated, the influence of the redeposition problem on the cleaning efficiency was analyzed.

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All
Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU
Read Print Download
Internet Anonymous

Access count: 29 
Last 30 days: 0

Detailed usage statistics