В данной работе был рассмотрен принцип действия атомного силового микроскопа в контактном режиме при основном и субгармоническом резонансах. В процессе работы были получены аналитические зависимости, построенные с помощью метода многих масштабов, амплитуды и частоты колебаний чувствительного элемента атомного силового микроскопа от рельефа исследуемого образца. Так же было проведено сравнение аналитических и численных решений для собственных частот колебаний и АЧХ характеристики кантилевера в обоих случаях.

This paper was considered by the action principle of atomic force microscope in contact mode, when the principal and subharmonic resonances. In the course of work the analytical dependences were built using the multi-scale, amplitude and frequency of the sensitive element of the atomic force microscope from the topography of the sample. So was the comparison of analytical and numerical solutions for natural frequencies of oscillation and frequency-response characteristics of cantilever in both cases.