Детальная информация

Название: Моделирование и анализ турбулентности в расплаве кремния со свободной поверхностью применительно к технологии выращивания кристаллов методом Чохральского: выпускная квалификационная работа магистра: 03.04.01 - Прикладные математика и физика ; 03.04.01_02 - Модели и высокопроизводительные вычисления в физической гидрогазодинамике
Авторы: Борисов Дмитрий Витальевич
Научный руководитель: Абрамов Алексей Геннадьевич
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт прикладной математики и механики
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2019
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: Кремний — Кристаллы; Численные методы; Турбулентное течение — Моделирование; метод Чохральского; эффект Марангони
УДК: 546.28; 519.6; 532.517.4
Тип документа: Выпускная квалификационная работа магистра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Код специальности ФГОС: 03.04.01
Группа специальностей ФГОС: 030000 - Физика и астрономия
Ссылки: Отзыв руководителя; Рецензия; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-5128
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Разрешенные действия:

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

В работе проводится численное моделирование турбулентной конвекции расплава с помощью RANS моделей в установке выращивания кристаллов кремния методом Чохральского. Показана необходимость учета специфики свободной поверхности в RANS моделях. Исследуется влияние угловой скорости вращения тигля, а также давления и расхода аргона на концентрацию кислорода, встраиваемого в кристалл. Проводится обработка и анализ турбулентности в ранее проведенных расчетах с помощью ILES и DNS. Исследуется влияние эффекта Марангони на характеристики турбулентности у свободной поверхности. Проводится сравнение RANS подхода к моделированию турбулентности в расплаве на основе результатов ILES и DNS.

In this work numerical simulation of the melt turbulent convection in the Czochralski growth system of silicon crystal is performed using RANS models. The necessity of taking into account the specificity of the free surface in RANS models is shown. The effect of the angular velocity of crucible rotation, as well as the pressure and flow of argon on the concentration of oxygen embedded in the crystal is investigated. Turbulence is processed and analyzed in previous calculations using ILES and DNS. The influence of the Marangoni effect on the characteristics of turbulence near the free surface is investigated. RANS approach to melt turbulence modeling based on ILES and DNS results is investigated.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Анонимные пользователи

Статистика использования

stat Количество обращений: 18
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика