Детальная информация
| Название | Разработка технологической установки бондинга для сращивания пластин: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии материалов и изделий микросистемной техники» |
|---|---|
| Авторы | Иванов Виктор Игоревич |
| Научный руководитель | Афанасьева Елена Владимировна |
| Другие авторы | Филатов Леонид Анатольевич ; Осипов Артём Арменакович |
| Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта |
| Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2020 |
| Коллекция | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
| Тематика | анодный бондинг ; сварка пластин ; кремний ; боросиликатное стекло ; тепломассоперенос ; anodic bonding ; welding of plates ; silicon ; borosilicate glass ; heat and mass transfer |
| Тип документа | Выпускная квалификационная работа бакалавра |
| Тип файла | |
| Язык | Русский |
| Уровень высшего образования | Бакалавриат |
| Код специальности ФГОС | 28.03.01 |
| Группа специальностей ФГОС | 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы |
| Ссылки | Отзыв руководителя ; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований |
| DOI | 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1524 |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Ключ записи | ru\spstu\vkr\9489 |
| Дата создания записи | 16.10.2020 |
Разрешенные действия
–
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
| Группа | Анонимные пользователи |
|---|---|
| Сеть | Интернет |
В данной работе проводилось изучение методов сварки пластин, а именно процесса анодного бондинга. Разработана концепция установки анодного бондинга. Проведено математическое моделирование тепломассопереноса в системе: нагревательный элемент – электрод – кремний – стекло – электрод. Определены условия осуществления процесса сварки пластин боросиликатного стекла и кремния. Создан прототип установки анодного бондинга. Проведена апробация установки, осуществлена анодная сварка кремния со стеклом.
In this work, we studied the methods of welding a plate, namely the process of anode bonding. The concept of installing anode bonding has been developed. Mathematical modeling of heat and mass transfer in the system was carried out: heating element - electrode - silicon - glass - electrode. Conditions for the production of plastic borosilicate glass and nitrogen. A prototype installation of anode bonding. The installation was tested, anodic welding of nitrogen with glass was carried out.
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|---|---|
| Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
| Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ |
|
| Интернет | Анонимные пользователи |
|
Количество обращений: 10
За последние 30 дней: 1
