Детальная информация

Название: Разработка технологической установки бондинга для сращивания пластин: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии материалов и изделий микросистемной техники»
Авторы: Иванов Виктор Игоревич
Научный руководитель: Афанасьева Елена Владимировна
Другие авторы: Филатов Леонид Анатольевич; Осипов Артём Арменакович
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2020
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: анодный бондинг; сварка пластин; кремний; боросиликатное стекло; тепломассоперенос; anodic bonding; welding of plates; silicon; borosilicate glass; heat and mass transfer
Тип документа: Выпускная квалификационная работа бакалавра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Уровень высшего образования: Бакалавриат
Код специальности ФГОС: 28.03.01
Группа специальностей ФГОС: 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы
Ссылки: Отзыв руководителя; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1524
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Дополнительно: Все документы
Ключ записи: ru\spstu\vkr\9489

Разрешенные действия:

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

В данной работе проводилось изучение методов сварки пластин, а именно процесса анодного бондинга. Разработана концепция установки анодного бондинга. Проведено математическое моделирование тепломассопереноса в системе: нагревательный элемент – электрод – кремний – стекло – электрод. Определены условия осуществления процесса сварки пластин боросиликатного стекла и кремния. Создан прототип установки анодного бондинга. Проведена апробация установки, осуществлена анодная сварка кремния со стеклом.

In this work, we studied the methods of welding a plate, namely the process of anode bonding. The concept of installing anode bonding has been developed. Mathematical modeling of heat and mass transfer in the system was carried out: heating element - electrode - silicon - glass - electrode. Conditions for the production of plastic borosilicate glass and nitrogen. A prototype installation of anode bonding. The installation was tested, anodic welding of nitrogen with glass was carried out.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи СПбПУ Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи (не СПбПУ)
-> Интернет Анонимные пользователи

Статистика использования

stat Количество обращений: 1
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика