Details
Title | Разработка технологической установки бондинга для сращивания пластин: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии материалов и изделий микросистемной техники» |
---|---|
Creators | Иванов Виктор Игоревич |
Scientific adviser | Афанасьева Елена Владимировна |
Other creators | Филатов Леонид Анатольевич ; Осипов Артём Арменакович |
Organization | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта |
Imprint | Санкт-Петербург, 2020 |
Collection | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
Subjects | анодный бондинг ; сварка пластин ; кремний ; боросиликатное стекло ; тепломассоперенос ; anodic bonding ; welding of plates ; silicon ; borosilicate glass ; heat and mass transfer |
Document type | Bachelor graduation qualification work |
File type | |
Language | Russian |
Level of education | Bachelor |
Speciality code (FGOS) | 28.03.01 |
Speciality group (FGOS) | 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы |
Links | Отзыв руководителя ; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований |
DOI | 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1524 |
Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Record key | ru\spstu\vkr\9489 |
Record create date | 10/16/2020 |
Allowed Actions
–
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
Group | Anonymous |
---|---|
Network | Internet |
В данной работе проводилось изучение методов сварки пластин, а именно процесса анодного бондинга. Разработана концепция установки анодного бондинга. Проведено математическое моделирование тепломассопереноса в системе: нагревательный элемент – электрод – кремний – стекло – электрод. Определены условия осуществления процесса сварки пластин боросиликатного стекла и кремния. Создан прототип установки анодного бондинга. Проведена апробация установки, осуществлена анодная сварка кремния со стеклом.
In this work, we studied the methods of welding a plate, namely the process of anode bonding. The concept of installing anode bonding has been developed. Mathematical modeling of heat and mass transfer in the system was carried out: heating element - electrode - silicon - glass - electrode. Conditions for the production of plastic borosilicate glass and nitrogen. A prototype installation of anode bonding. The installation was tested, anodic welding of nitrogen with glass was carried out.
Network | User group | Action |
---|---|---|
ILC SPbPU Local Network | All |
|
Internet | Authorized users SPbPU |
|
Internet | Anonymous |
|
Access count: 9
Last 30 days: 0