Details

Title: Разработка технологической установки бондинга для сращивания пластин: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии материалов и изделий микросистемной техники»
Creators: Иванов Виктор Игоревич
Scientific adviser: Афанасьева Елена Владимировна
Other creators: Филатов Леонид Анатольевич; Осипов Артём Арменакович
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint: Санкт-Петербург, 2020
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: анодный бондинг; сварка пластин; кремний; боросиликатное стекло; тепломассоперенос; anodic bonding; welding of plates; silicon; borosilicate glass; heat and mass transfer
Document type: Bachelor graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 28.03.01
Speciality group (FGOS): 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы
Links: Отзыв руководителя; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1524
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

В данной работе проводилось изучение методов сварки пластин, а именно процесса анодного бондинга. Разработана концепция установки анодного бондинга. Проведено математическое моделирование тепломассопереноса в системе: нагревательный элемент – электрод – кремний – стекло – электрод. Определены условия осуществления процесса сварки пластин боросиликатного стекла и кремния. Создан прототип установки анодного бондинга. Проведена апробация установки, осуществлена анодная сварка кремния со стеклом.

In this work, we studied the methods of welding a plate, namely the process of anode bonding. The concept of installing anode bonding has been developed. Mathematical modeling of heat and mass transfer in the system was carried out: heating element - electrode - silicon - glass - electrode. Conditions for the production of plastic borosilicate glass and nitrogen. A prototype installation of anode bonding. The installation was tested, anodic welding of nitrogen with glass was carried out.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
Internet Authorized users (not from SPbPU)
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 1
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics