Данная работа посвящена разработке установки плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения с источником поверхностно волновой плазмы и процессов протекающих в установке, с помощью компьютерного моделирования. Задачи, решённые в ходе исследования: 1. Построение 3D модели установки. 2. Исследование распределения температуры по поверхности внешнего контура стенок реактора установки и верхней границы подложкодержателя. 3. Исследование газодинамики потоков в объёме реакционной камеры. Для создания 3D модели было использовано ПО SolidWorks. Для моделирования внутренних процессов был использован метод компьютерного численного моделирования с использованием специализированной ПО COMSOL Multiphysics. В результате проделанной работы была разработана компьютерная модель установки АСО и создан прототип установки. Также были получены сведения о распределении газовых поток в реакционном объёме и распределении температуры в реакторе и по поверхности подложкодержателя. Результаты этой работы могут быть использованы при дальнейшем прогнозировании процессов, протекающих во время экспериментов и для модернизации данной установки.

This work is devoted to the development of a plasma-activated atomic-layer deposition installation with a surface-wave plasma source and processes occurring in the installation using computer simulation. This search set the following goals: 1. Modeling a reliable 3D installation model. 2. The scrutiny of the temperature distribution over the surface of the installation reactor outer wall and the upper boundary of the substrate holder. 3. The scrutiny gasdynamics in the volume of the reaction chamber. SolidWorks was used to create the 3D model. To simulate internal processes, a computer numerical simulation method using the specialized COMSOL Multiphysics program was used. As a result of the work, a computer model of the ALD installation was created, according to which it can be further implemented in the material world. Information was also obtained on the distribution of pressure and gas flow in the reaction volume and the temperature distribution of the heated stage. The results of this work can be used in further forecasting and description of the results of processes carried out at this facility.

• ВВЕДЕНИЕ
  • 1 АТОМНО-СЛОЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ
    • 1.1 Основы атомно-слоевого осаждения
    • 1.2 Разновидности реакторов плазмоактивированного АСО
  • 2 ПОВЕРХНОСТНАЯ ЭЛЕКТРОМАГНИТНАЯ ВОЛНА
    • 2.1 Физические основы поверхностных электромагнитных волн
    • 2.2 Поверхностная волновая плазма
    • 2.3 Методы создания поверхностной волновой плазмы
  • 3 МОДЕЛИРОВАНИЯ УСТАНОВКИ
    • 3.1 Основы моделирования
    • 3.2 Создание 3 D модели установки
      • 3.2.1 Моделирование подложкодержателя
      • 3.2.2 Моделирование источника поверхностных волн
      • 3.2.3 Моделирование вакуумной камеры установки
    • 3.3 Математическое моделирование
      • 3.3.1 Создание модели и задание материалов
      • 3.3.2 Задание граничных условий
      • 3.3.3 Построение сетки
      • 3.3.4 Результаты расчёта модели
• ЗАКЛЮЧЕНИЕ
• СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ