Рогачев, Кирилл Алексеевич. Моделирование установки плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения с источником поверхностной волновой плазмы: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии материалов и изделий микросистемной техники» = Modeling the installation of plasma-activated atomic layer deposition with a source of surface waves / К. А. Рогачев; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт машиностроения, материалов и транспорта; научный руководитель Е. В. Афанасьева; консультант по нормоконтролю Л. А. Филатов. — Санкт-Петербург, 2020. — 1 файл (1,9 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/vr20-1680.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1680-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1680-a.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1680. — Текст