Детальная информация

Название: Температурные сенсоры на базе многослойных тонкоплёночных наноструктур: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.03.04_04 «Микроэлектроника и твердотельная электроника»
Авторы: Малиновский Егор Андреевич
Научный руководитель: Габдуллин Павел Гарифович; Гаврикова Татьяна Андреевна
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2020
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: многослойные тонкоплёночные наноструктуры; удельное сопротивление; температурный коэффициент сопротивления; поверхностное рассеяние; зернограничное рассеяние; магнетронное распыление; длинна свободного про-бега; высокотемпературная стабильность; multilayer thin films; electrical resistivity; temperature coefficient of resistivity; surface scattering; grain boundaries scattering; magnetron sputtering; mean free path; high-temperature stability
Тип документа: Выпускная квалификационная работа бакалавра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Код специальности ФГОС: 11.03.04
Группа специальностей ФГОС: 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
Ссылки: Отзыв руководителя; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1757
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Разрешенные действия:

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Данная работа посвящена теоретическому описанию многослойных тонко-плёночных наноструктур и их применению в качестве датчиков температуры. Описаны основные теоретические модели удельного сопротивления и температурного коэффициента сопротивления многослойных наноструктур, рассмотрены методы их получения, в частности с помощью магнетронного распыления. В ходе рассуждений были описаны процессы, влияющие на макроскопические параметры тонких плёнок: поверхностное и зернограничное рассеяние электронов, уменьшение длинны свободного пробега за счёт размерного эффекта, фазообразование на границе раздела слоёв. По итогу работы были найдены стабильные при высоких температурах материалы многослойных плёнок и обосновано их качественные преимущества в роли термочувствительных элементов. Благодаря своим физическим свойствам пары Nb/Ta, Mo/W, Hf/Zr могут быть использованы как температурные сенсоры с высокой стабильностью и чувствительностью.

The given work is devoted to the discussion of multilayer thin films and its application as temperature sensors. The main theoretical models of resistivity and temperature coefficient of resistivity were observed, there is a note about the deposition of thin films by magnetron sputtering in a vacuum chamber. The paper describes the basic parameter of metallic films, such as scattering on the surface, mean free path, interdiffusion on the interface, and size effect on these parameters. in conclusion, new suitable materials were chosen for production multilayer thin film with high-temperature stability. There were underlined good match between some metals like Nb/Ta, Mo/W, Hf/Zr, that demonstrate high stability and sensitivity.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи СПбПУ Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи (не СПбПУ)
-> Интернет Анонимные пользователи

Статистика использования

stat Количество обращений: 7
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика