Details

Title Температурные сенсоры на базе многослойных тонкоплёночных наноструктур: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.03.04_04 «Микроэлектроника и твердотельная электроника»
Creators Малиновский Егор Андреевич
Scientific adviser Габдуллин Павел Гарифович ; Гаврикова Татьяна Андреевна
Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint Санкт-Петербург, 2020
Collection Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция
Subjects многослойные тонкоплёночные наноструктуры ; удельное сопротивление ; температурный коэффициент сопротивления ; поверхностное рассеяние ; зернограничное рассеяние ; магнетронное распыление ; длинна свободного про-бега ; высокотемпературная стабильность ; multilayer thin films ; electrical resistivity ; temperature coefficient of resistivity ; surface scattering ; grain boundaries scattering ; magnetron sputtering ; mean free path ; high-temperature stability
Document type Bachelor graduation qualification work
File type PDF
Language Russian
Level of education Bachelor
Speciality code (FGOS) 11.03.04
Speciality group (FGOS) 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
Links Отзыв руководителя ; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1757
Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key ru\spstu\vkr\7116
Record create date 7/23/2020

Allowed Actions

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network

Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group Anonymous
Network Internet

Данная работа посвящена теоретическому описанию многослойных тонко-плёночных наноструктур и их применению в качестве датчиков температуры. Описаны основные теоретические модели удельного сопротивления и температурного коэффициента сопротивления многослойных наноструктур, рассмотрены методы их получения, в частности с помощью магнетронного распыления. В ходе рассуждений были описаны процессы, влияющие на макроскопические параметры тонких плёнок: поверхностное и зернограничное рассеяние электронов, уменьшение длинны свободного пробега за счёт размерного эффекта, фазообразование на границе раздела слоёв. По итогу работы были найдены стабильные при высоких температурах материалы многослойных плёнок и обосновано их качественные преимущества в роли термочувствительных элементов. Благодаря своим физическим свойствам пары Nb/Ta, Mo/W, Hf/Zr могут быть использованы как температурные сенсоры с высокой стабильностью и чувствительностью.

The given work is devoted to the discussion of multilayer thin films and its application as temperature sensors. The main theoretical models of resistivity and temperature coefficient of resistivity were observed, there is a note about the deposition of thin films by magnetron sputtering in a vacuum chamber. The paper describes the basic parameter of metallic films, such as scattering on the surface, mean free path, interdiffusion on the interface, and size effect on these parameters. in conclusion, new suitable materials were chosen for production multilayer thin film with high-temperature stability. There were underlined good match between some metals like Nb/Ta, Mo/W, Hf/Zr, that demonstrate high stability and sensitivity.

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All
Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU
Read Print Download
Internet Anonymous

Access count: 15 
Last 30 days: 0

Detailed usage statistics