Details

Данная работа посвящена теоретическому описанию многослойных тонко-плёночных наноструктур и их применению в качестве датчиков температуры. Описаны основные теоретические модели удельного сопротивления и температурного коэффициента сопротивления многослойных наноструктур, рассмотрены методы их получения, в частности с помощью магнетронного распыления. В ходе рассуждений были описаны процессы, влияющие на макроскопические параметры тонких плёнок: поверхностное и зернограничное рассеяние электронов, уменьшение длинны свободного пробега за счёт размерного эффекта, фазообразование на границе раздела слоёв. По итогу работы были найдены стабильные при высоких температурах материалы многослойных плёнок и обосновано их качественные преимущества в роли термочувствительных элементов. Благодаря своим физическим свойствам пары Nb/Ta, Mo/W, Hf/Zr могут быть использованы как температурные сенсоры с высокой стабильностью и чувствительностью.

The given work is devoted to the discussion of multilayer thin films and its application as temperature sensors. The main theoretical models of resistivity and temperature coefficient of resistivity were observed, there is a note about the deposition of thin films by magnetron sputtering in a vacuum chamber. The paper describes the basic parameter of metallic films, such as scattering on the surface, mean free path, interdiffusion on the interface, and size effect on these parameters. in conclusion, new suitable materials were chosen for production multilayer thin film with high-temperature stability. There were underlined good match between some metals like Nb/Ta, Mo/W, Hf/Zr, that demonstrate high stability and sensitivity.