Details

Title: Температурные сенсоры на базе многослойных тонкоплёночных наноструктур: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.03.04_04 «Микроэлектроника и твердотельная электроника»
Creators: Малиновский Егор Андреевич
Scientific adviser: Габдуллин Павел Гарифович; Гаврикова Татьяна Андреевна
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint: Санкт-Петербург, 2020
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: многослойные тонкоплёночные наноструктуры; удельное сопротивление; температурный коэффициент сопротивления; поверхностное рассеяние; зернограничное рассеяние; магнетронное распыление; длинна свободного про-бега; высокотемпературная стабильность; multilayer thin films; electrical resistivity; temperature coefficient of resistivity; surface scattering; grain boundaries scattering; magnetron sputtering; mean free path; high-temperature stability
Document type: Bachelor graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 11.03.04
Speciality group (FGOS): 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
Links: Отзыв руководителя; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1757
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Данная работа посвящена теоретическому описанию многослойных тонко-плёночных наноструктур и их применению в качестве датчиков температуры. Описаны основные теоретические модели удельного сопротивления и температурного коэффициента сопротивления многослойных наноструктур, рассмотрены методы их получения, в частности с помощью магнетронного распыления. В ходе рассуждений были описаны процессы, влияющие на макроскопические параметры тонких плёнок: поверхностное и зернограничное рассеяние электронов, уменьшение длинны свободного пробега за счёт размерного эффекта, фазообразование на границе раздела слоёв. По итогу работы были найдены стабильные при высоких температурах материалы многослойных плёнок и обосновано их качественные преимущества в роли термочувствительных элементов. Благодаря своим физическим свойствам пары Nb/Ta, Mo/W, Hf/Zr могут быть использованы как температурные сенсоры с высокой стабильностью и чувствительностью.

The given work is devoted to the discussion of multilayer thin films and its application as temperature sensors. The main theoretical models of resistivity and temperature coefficient of resistivity were observed, there is a note about the deposition of thin films by magnetron sputtering in a vacuum chamber. The paper describes the basic parameter of metallic films, such as scattering on the surface, mean free path, interdiffusion on the interface, and size effect on these parameters. in conclusion, new suitable materials were chosen for production multilayer thin film with high-temperature stability. There were underlined good match between some metals like Nb/Ta, Mo/W, Hf/Zr, that demonstrate high stability and sensitivity.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
Internet Authorized users (not from SPbPU)
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 8
Last 30 days: 1
Detailed usage statistics