Детальная информация

Название: Разработка чувствительного элемента двухосного ёмкостного акселерометра, изготовленного по технологии КНИ: выпускная квалификационная работа магистра: направление 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.04.04_06 «Интегральная электроника и микросистемотехника»
Авторы: Дементьев Михаил Михайлович
Научный руководитель: Лобода Вера Владимировна
Другие авторы: Енученко Михаил Сергеевич
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2020
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: емкостной двухосный микроэлектромеханический акселерометр; мэмс; упругий подвес; перекрестная чувствительность; воздушное демпфирование; разомкнутый контур; математическое моделирование; capacitive biaxial microelectromechanical accelerometer; mems; folded beam; cross sensitivity; air damping; opened circuit; mathematical modeling
Тип документа: Выпускная квалификационная работа магистра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Уровень высшего образования: Магистратура
Код специальности ФГОС: 11.04.04
Группа специальностей ФГОС: 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
Ссылки: Отзыв руководителя; Рецензия; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1931
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Ключ записи: ru\spstu\vkr\8940

Разрешенные действия:

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Тема выпускной квалификационной работы: “Разработка чувствительного элемента двухосного ёмкостного акселерометра, изготовленного по технологии КНИ” Задачи, которые решались в ходе исследования: 1. Провести обзор существующих литературных источников, описывающих двухосные емкостные ММА, их возможности, конструктивные решения. 2. Определить параметры чувствительного элемента (ЧЭ) двухосного емкостного микроэлектромеханического акселерометра (ММА), исходя из технологических требований фабрики-изготовителя. 3. Провести математическое моделирование ЧЭ двухосного емкостного ММА с использованием программных платформ MATLAB и COMSOL. 4. Провести анализ полученных результатов моделирования с существующими аналогами. В ходе работы были проведены расчеты, показывающие наглядно, каким образом конструкционные параметры тем или иным образом влияют на работу акселерометра. Анализ проводился методом математического моделирования с помощью программного обеспечения MATLAB & Simulink, COMSOL Multiphisics и Origin. Сравнение результатов моделирования в MATLAB и COMSOL показало, что различия между двумя расчетами не превышают 5 %, что говорит о высокой точности математического моделирования. Также, проведённый сравнительный анализ разработанного ЧЭ двухосного емкостного ММА с существующими аналогами, показал, что разработанная конструкция имеет наилучшую механическую чувствительность, наименьшие размеры, а также наибольший диапазон работы.

Theme of the graduate qualification work: “Development of a sensitive element of a biaxial capacitive accelerometer made using the SOI technology” Tasks that were solved during the study: 1. To review the existing literature sources describing biaxial capacitive microelectromechanical accelerometer (MMA), their capabilities, design solutions. 2. Determine the parameters of the sensitive element (SE) of the biaxial capacitive MMA, based on the technological requirements. 3. Carry out mathematical modeling of the SE of a biaxial capacitive MMA using the MATLAB and COMSOL software platforms. 4. Analyze the obtained simulation results with existing analogues. In this work calculations were made that clearly showed how the structural parameters in one way or another affect the operation of the accelerometer. The analysis was carried out using mathematical modeling using the software MATLAB & Simulink, COMSOL Multiphisics and OriginPro Comparison of the simulation results in MATLAB and COMSOL showed that the differences between the two calculations do not exceed 5%, which indicates a high accuracy of mathematical modeling. Also, a comparative analysis of the developed SE of a biaxial capacitive MMA with existing analogs showed that the developed design has the best mechanical sensitivity, smallest size, and also the largest range of operation.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи СПбПУ Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Анонимные пользователи

Статистика использования

stat Количество обращений: 23
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика