Данная работа посвящена изучению влияния нелинейных механических воздействий на частотные характеристики микромеханического гироскопа – резонансную частоту и полосу пропускания. В ходе работы был проделан обзор литературы по теме, изучены подходы к производству МЭМС датчиков, произведено знакомство с архитектурами гироскопов, был промоделирован нелинейный гироскоп в среде физического моделирования Comsol Multiphysics, а также было проведено экспериментальное обнаружение уширения полосы пропускания в зависимости от возбуждающего напряжения для нелинейного МЭМС гироскопа.

This work is devoted to the study of the influence of nonlinear mechanical effects on the frequency characteristics of a micromechanical gyroscope – the resonant frequency and bandwidth. In the course of the work, a review of the literature on the topic was performed, approaches to the production of MEMS sensors were studied, gyroscope architectures were introduced, a nonlinear gyroscope was modeled in the physical modeling environment called Comsol Multiphysics, and an experimental detection of bandwidth deviation depending on the input voltage for a nonlinear MEMS gyroscope was performed.