Details

Title: Влияние нелинейного механического отклика на частотные характеристики микромеханического гироскопа: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.03.04_04 «Микроэлектроника и твердотельная электроника»
Creators: Хохлявин Александр Игоревич
Scientific adviser: Мишин Максим Валерьевич
Other creators: Гаврикова Татьяна Андреевна
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint: Санкт-Петербург, 2020
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: микромеханический гироскоп; микроэлектромеханические системы; увеличение полосы пропускания гироскопа; кориолисов вибрационный гироскоп; резонансные характеристики гироскопа; нелинейный микромеханический гироскоп; способы повышения робастности мэмс датчиков; micromachined gyroscopes; micro-electro-mechanical systems; bandwidth increasing approaches; coriolis vibrational gyroscope; resonance characteristics of mems gyroscope; nonlinear gyroscope; robustness challenge
Document type: Bachelor graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Speciality code (FGOS): 11.03.04
Speciality group (FGOS): 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
Links: Отзыв руководителя; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1953
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Данная работа посвящена изучению влияния нелинейных механических воздействий на частотные характеристики микромеханического гироскопа – резонансную частоту и полосу пропускания. В ходе работы был проделан обзор литературы по теме, изучены подходы к производству МЭМС датчиков, произведено знакомство с архитектурами гироскопов, был промоделирован нелинейный гироскоп в среде физического моделирования Comsol Multiphysics, а также было проведено экспериментальное обнаружение уширения полосы пропускания в зависимости от возбуждающего напряжения для нелинейного МЭМС гироскопа.

This work is devoted to the study of the influence of nonlinear mechanical effects on the frequency characteristics of a micromechanical gyroscope – the resonant frequency and bandwidth. In the course of the work, a review of the literature on the topic was performed, approaches to the production of MEMS sensors were studied, gyroscope architectures were introduced, a nonlinear gyroscope was modeled in the physical modeling environment called Comsol Multiphysics, and an experimental detection of bandwidth deviation depending on the input voltage for a nonlinear MEMS gyroscope was performed.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
Internet Authorized users (not from SPbPU)
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 2
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics