Объект исследования – антиэмиссионное покрытие пиролитического углерода. Цель работы – разработка технологии получения пиролитического углерода в качестве антиэмиссионного покрытия. Работа включает в себя теоретическое описание компонентов электровакуумных приборов, подробный разбор существующих методов нанесения покрытий, их сравнительные характеристики и особенности. Также в работе описана физика процесса ионно-плазменного напыления, представлена и подробно описана технология формирования покрытия из пиролитического углерода данным методом. Для напыления антиэмиссионных покрытий на сеточные электроды сложной структуры существуют различные методы, обладающие своими плюсами и минусами. Нанесение покрытий из пироуглерода наиболее эффективно производить с использованием дугового разряда в вакууме. В качестве преимуществ вакуумно-дугового разряда можно отметить высокую степень чистоты получаемого покрытия, возможность покрывать детали большого размера (ограничивается объемом рабочей камеры), детали со сложной и тонкой структурой и возможность получать многосоставные покрытия любой практически любой сложности. Отработка технологии проходила с использованием графитового катода и молибденовых деталей-заготовок (сеток тетрода ГУ-138Б). В работе представлен результат эксперимента, расчета КПД и оценка жизнеспособности метода.

The work includes theoretical information about the components of electrovacuum devices, a detailed analysis of existing coating methods, their comparative characteristics and features. The paper also describes the physics of the process of ion-plasma deposition, presents and describes in detail the technology of coating formation from pyrolytic carbon by this method. The technology used a graphite cathode and molybdenum grid electrodes of the GU-138 tetrode. The results of the experiment, the calculation of efficiency and the assessment of the viability of the method are presented.