Details

Title: Технология нанесения пиролитического углерода в качестве антиэмиссионного покрытия на сеточные электроды электровакуумных приборов: выпускная квалификационная работа магистра: направление 16.04.01 «Техническая физика» ; образовательная программа 16.04.01_02 «Физика структур пониженной размерности»
Creators: Рыков Андрей Андреевич
Scientific adviser: Устинов Александр Борисович
Other creators: Мелентьев Григорий Александрович
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint: Санкт-Петербург, 2020
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: ионно-плазменное напыление; антиэмиссионное покрытие; углеродные покрытия; пиролитический углерод; методы нанесения покрытий; технология напыления; установка УВНИПА-1-002; ion-plasma spraying; antiemission coating; carbon coatings; pyrolytic carbon; coating methods; dusting technology; UNIVIPA-1-002 machine
Document type: Master graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Level of education: Master
Speciality code (FGOS): 16.04.01
Speciality group (FGOS): 160000 - Физико-технические науки и технологии
Links: Отзыв руководителя; Рецензия; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-2865
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key: ru\spstu\vkr\7249

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Объект исследования – антиэмиссионное покрытие пиролитического углерода. Цель работы – разработка технологии получения пиролитического углерода в качестве антиэмиссионного покрытия. Работа включает в себя теоретическое описание компонентов электровакуумных приборов, подробный разбор существующих методов нанесения покрытий, их сравнительные характеристики и особенности. Также в работе описана физика процесса ионно-плазменного напыления, представлена и подробно описана технология формирования покрытия из пиролитического углерода данным методом. Для напыления антиэмиссионных покрытий на сеточные электроды сложной структуры существуют различные методы, обладающие своими плюсами и минусами. Нанесение покрытий из пироуглерода наиболее эффективно производить с использованием дугового разряда в вакууме. В качестве преимуществ вакуумно-дугового разряда можно отметить высокую степень чистоты получаемого покрытия, возможность покрывать детали большого размера (ограничивается объемом рабочей камеры), детали со сложной и тонкой структурой и возможность получать многосоставные покрытия любой практически любой сложности. Отработка технологии проходила с использованием графитового катода и молибденовых деталей-заготовок (сеток тетрода ГУ-138Б). В работе представлен результат эксперимента, расчета КПД и оценка жизнеспособности метода.

The work includes theoretical information about the components of electrovacuum devices, a detailed analysis of existing coating methods, their comparative characteristics and features. The paper also describes the physics of the process of ion-plasma deposition, presents and describes in detail the technology of coating formation from pyrolytic carbon by this method. The technology used a graphite cathode and molybdenum grid electrodes of the GU-138 tetrode. The results of the experiment, the calculation of efficiency and the assessment of the viability of the method are presented.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 6
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics