Данная работа посвящена исследованию технологий повышения таких характеристик инерционных МЭМС-датчиков, как диапазон рабочих температур и радиационная стойкость. Задачи, которые решались в ходе исследования: 1. Исследование влияния радиационного воздействия на инерционный МЭМС-датчик; 2. Исследование влияния температурного воздействия; 3. Обзор применяемых и разрабатываемых технологий; 4. Анализ публикаций, посвящённых перспективным технологиям; 5. Разработка применения перспективных технологий. Работа выполнялась на основе литературного анализа исследований, технологий и патентов. В результате были проанализированы технологии, с помощью которых возможно создание инерционного МЭМС-датчика, обладающего широким диапазоном измеряемых ускорений, рабочих температур и радиационной стойкостью, что позволяет использовать его для испытаний и мониторинга авиационных и космических двигателей.

The given work is devoted to research of technologies which are able to increase such operating options of inertia MEMS sensors as diapason of working temperature and radioactive durability. The research set the following goals: 1. Research of radiation effects on MEMS sensor; 2. Research of thermal effects; 3. Review of technologies which are both being used and being under development; 4. Analysis of contributions devoted to advanced technologies; 5. Propose of usage advanced technologies. The work was made based on analysis of researches, technologies and patents. As a result, technologies which allow production of inertia MEMS-sensor with wide diapasons of calculated accelerations and working tem-perature and radiation durability were analyzed.