В ходе данной работы были рассмотрены два способа формирования тонкопленочного покрытия из нитрида титана. Также была исследована технология нанесения светоконтрастного рисунка на поверхность прецизионных узлов. Мною было разработано устройство для формирования такого покрытия на деталях. Произведен расчет для всех элементов этого устройства, подобраны наиболее оптимальные режимы формирования покрытия и рисунка. Целью работы является исследование свойств растрового рисунка из нитрида титана, нанесенного на поверхность прецизионных узлов гироприборов с помощью лазерного маркирования. Для решения поставленной цели передо мной стояли следующие задачи: 1. Полный анализ методов напыления покрытий на узлы гироприборов 2. Анализ установки для нанесения светоконтрастного рисунка на сферическую поверхность 3. Исследование влияния химического состава на цветовую гамму покрытия 4. Исследовать зависимость параметров покрытия после лазерной обработки от режима обработки.

The object of the research is a rotor of electrostatic gyroscope which is covered by a thin film. The marking is formed on the surface of the thin film. The goal of the research is development of the optimal technology of forming the thin film and the marking. In the work the device for the thin film formation on the rotor surface is developed and created. Appropriate modes of deposition and marking are selected. Also the possibility of imbalance correction by forming thin film is analyzed. The aim of this work is to study the properties of a raster drawing made of titanium nitride applied to the surface of precision gyro units using laser marking. To achieve this goal, I had the following tasks: 1. Complete analysis of coating deposition methods on gyro units 2. Analysis of the installation for applying a light-contrast pattern on a spherical surface 3. Investigation of the effect of chemical composition on the color scheme of the coating 4. Investigate the dependence of the coating parameters after laser treatment on the treatment mode.